やわらかい薄膜の3次元形状計測
チップの微細化に伴う，露光過程における焦点深度の微小化
レジスト表面に凹凸がパターンニングに影響，現在の最大凹凸差はおよそ50nm：xyz方向で数nmの精度でのレジストの形状測定が必要
AFMなどの機械接触によるレジスト形状の変形などを評価する
圧子で対象を押し込み，荷重とその変位を評価するナノインデンテーション法
ナノインデンテーション法
ダイヤモンド圧子に微小な荷重を加えて試料に押し込みながら，圧子の侵入量を測定し，得られた荷重-侵入量の関係から試料の弾塑性特性などを評価する材料測定法
薄膜の硬さなどが測定でき，弾性率や相転移に関する情報も得られる，レジストの物性情報を得られる
 
レジスト表面のナノインデンテーション結果
半径10umの球を20nm近く押込んでも，ほとんど塑性変形していないこと分かる
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