エバネッセント露光による面内構造造形
微小光学素子，微小MEMSなどに要求される，サブマイクロメートルオーダの三次元造形法への需要
柔軟な三次元造形が可能であるマイクロ光造形法の露光エネルギとして，エバネッセント光を利用することにより，サブマイクロメートルオーダの三次元光造形法確立を目指す．
本研究では特に一層の造形に着目し，面内において変調を与えたエバネッセント光強分布による面内の樹脂硬化形状の制御を行う．
エバネッセント光を利用した微細周期構造の造形に向けて
対向ビームを入射し干渉させることで，横方向に微細な周期構造をもつエバネッセント場を定在エバネッセント波と呼ぶ．
高開口数対物レンズ ：NA1.78
入射角θはθc(臨界角)〜68°で変化可能
定在波ピッチ幅 150nm〜
両ビームと対物レンズの位置関係を変化させることで，樹脂下面の照射領域を変えることなくθ，φを変えることが可能
定在エバネッセント波による造形実験
- 硬化中樹脂の顕微鏡観察
- 顕微鏡観察に基づいたピッチ幅の 制御性の確認
 
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