光触媒を利用した微小構造創製場

背景

マイクロ構造体（微小光学素子，MEMS）の創製にはサブマイクロメートルオーダの加工分解能が必要

光触媒を利用した新しい微細加工技術
サブマイクロメートルオーダの加工分解能
金属による微小構造が創製可能
加工形状の柔軟な制御

原理

酸化チタン光触媒による銀析出反応→TiO2の持つ還元力によって硝酸銀水溶液から金属銀が析出する

周期的定在波の強度分布（数100nmピッチ）を用いて，周期的銀構造を創製可能
ピッチ幅は入射角等制御により100nm以下まで微細化可能
定在波は伝搬光とエバネッセント光の２通りにより生成

実験

伝搬光を用いた微細構造創製実験
基板上に酸化チタンコーティング剤を塗布→硝酸銀水溶液を滴下→露光

今後の展望

SEM・AFMによる構造の定量的解析
より微細な（100nm以下）の周期構造の創製
任意の微小形状の創製法の検討
積層等による三次元化の検討