ナノCMMの開発
ナノCMM（nano-CMM）は，ナノメートル分解能の三次元座標測定機を開発する研究である．測定範囲は10mm×10mm×10mmと狭いが，分解能は10nmを目指している．下図は，ナノCMMの基本構成である．
XYステージは，2本のシリンダーの上に2つのV溝で乗っている．V溝にはテフロンシートが貼ってあり，ステージはフリクションドライブ機構によって駆動される．ステージの動きは，ミツトヨ製のホロゲージによって検出する．
ナノCMMの基本構成
ナノCMMの開発で重要なのは，熱の影響をどのようにして低減するかということである．ここでは，同一材料（アルミ，シリコン，ゼロデュアなど）を使うこと，左右対称の構造とすること，できるだけ小さくつくること，熱源を離すことなどで，実現する．
熱応力の解析例
下図は，試作したナノCMMである．機構としての真直度100nm程度，繰り返し精度は，50nm程度となっている．ナノCMM用に開発したフリクションドライブである．この機構を用いることで，真直度50nm程度，繰り返し精度20nm程度を実現した．
 
試作したナノCMMおよびフリクションドライブ機構
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