吸気型ボールプローブの開発
吸気型ボールプローブは，細いシャフト（パイプ）と小さい球（ボール）から構成され，ボールはパイプ内の負圧によって保持されている．
ボールが測定物に接触すると，空気が外からパイプ内に流入する．この空気の流れを検出することで，接触プローブとして使用できる．
吸気型ボールプローブの基本原理
- 郭志徹，高増潔，平木雅彦，古谷涼秋，大園成夫：吸気型ボールプローブの開発（第2報）−空気トリガセンサ式プローブの評価実験−，精密工学会誌，66（4），2000，pp. 612-616 PDF File
- Chih-Chea
Kuo, A. Suzuki, M. Hiraki, R. Furutani, K. Takamasu, S. Ozono:
Development of Touch Trigger Type Pneumatic Ball Probe, IMEKO-XV World
Congress, 1999, pp. 193-200.PDF File
- 高増潔，郭志徹，鈴木昭洋，平木雅彦，古谷涼秋，大園成夫：吸気型ボールプローブの開発（第1報）−基本的構成−，精密工学会誌，64（8），1998，pp.1153-1157．PDF
File
- Kiyoshi Takamasu, Kuo Chih-Che, Akihiro Suzuki, Masahiko Hiraki, Ryoshu Furutani, Shigeo
Ozono: Development of Pneumatic Ball Probe for Measuring Small Hole, Proc. ICPE'97,
Taiwan, 1997, pp.767-771.PDF File
下図は，プローブの製作方法の例である．2つのプローブシステムを並列に動作させ，差圧をとることで安定な検出を可能にしている．
吸気型ボールプローブ
図は，試作した吸気型ボールプローブのシステム構成である．コンプレッサー，真空発生器，圧力センサなどから構成されている．
吸気型ボールプローブのシステム構成
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