SPIE-ISOT 2005 （札幌）
高橋，臼杵，劉が2005年12月5日〜7日に札幌で開催されたSPIEのOptomechatronic Technologies: ISOT2005に参加，論文発表を行いました．劉は，Best
Student Paper Awardを授章しました．．
- Shujie Liu, Shuichi Nagasawa, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Profile
Measurement of Resist Surface Using Multi-Ball-Cantilever AFM
- S. Uski, H. NIshioka, S. Takahashi, K. Takamasu, Super-resolution optical
inspection for semiconductor defects using standing wave shift
 
 
| Best Student Paper Award と表彰式の様子 |
|
|
