Photonics in Measurement (ドイツ,フランクフルト)
Heidenhain(ドイツ,トラウンロイト)
高増,高橋が2004年6月21日から6月26日にドイツフランクフルトで開催されたPhotonics in Measurementへ参加しました. 高橋はPlenaryとして発表しました.その後,ドイツ ハイデンハイン本社を訪問し,研究に関する説明と議論,見学をしました.
Photonics in Measurement での発表論文 |
- Satoru Takahashi, Toshiyuki Nakao, Kiyoshi Takamasu, Ryusuke Nakajima,
Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Toshie Yoshioka, Tatsuo Hariyama, Keiichi
Kimura: Nano-Defects Inspection of Semiconductor Wafer using Evanescent
Wave
Photonics in Measurement の様子 |
会場のFrankfurt Messe

高橋のPlenaryの発表

Heidenhainでの発表の様子
 
 

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