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Photonics in Measurement (ドイツ,フランクフルト)

Heidenhain(ドイツ,トラウンロイト)


高増,高橋が2004年6月21日から6月26日にドイツフランクフルトで開催されたPhotonics in Measurementへ参加しました. 高橋はPlenaryとして発表しました.その後,ドイツ ハイデンハイン本社を訪問し,研究に関する説明と議論,見学をしました.

Photonics in Measurement での発表論文
  • Satoru Takahashi, Toshiyuki Nakao, Kiyoshi Takamasu, Ryusuke Nakajima, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Toshie Yoshioka, Tatsuo Hariyama, Keiichi Kimura: Nano-Defects Inspection of Semiconductor Wafer using Evanescent Wave

Photonics in Measurement の様子

会場のFrankfurt Messe


高橋のPlenaryの発表


Heidenhainでの発表の様子