| 氏名 |
賞の名前 |
団体 |
年 |
月 |
| 松本侑己 |
東京大学工学系研究科工学研究科長 |
東京大学工学系研究科 |
2018 |
3 |
| 増井周造 |
日本機械学会三浦賞 |
日本機械学会 |
2018 |
3 |
| 佐久間涼子 |
日本機械学会畠山賞 |
日本機械学会 |
2018 |
3 |
| 道畑正岐 |
研究開発奨励賞
研究テーマ：微小球共振原理を用いた幾何標準のためのマイクロスケール球の計測評価 |
エヌエフ基金 |
2017 |
11 |
| 儲博懐 |
Young Researcher Award
対象論文：Bohuai Chu, Kohei Hayashi, Zheng Zhao, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu,
Satoru Takahashi: High-precision measurement of dielectric microsphere
diameter using whispering gallery mode resonance |
LEM21 |
2017 |
11 |
| 道畑正岐 |
Best Paper Award 2017
対象論文：enji Maruno, Masaki Michihata, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya:
Fundamental Study on Novel On-Machine Measurement Method of a Cutting Tool
Edge Profile with a Fluorescent Confocal Microscopy |
IJAT誌 |
2017 |
9 |
| 孔徳卿 |
Best Paper Award
対象論文：Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: In-process measurement on the thickness of photosensitive resin in evanescent wave-based nano-stereolithography |
ISMTII2017 |
2017 |
9 |
| 増井周造 |
ベストポスタープレゼンテーション賞 |
精密工学会 |
2017 |
9 |
| 松本侑己 |
ベストポスタープレゼンテーション賞 |
精密工学会 |
2017 |
9 |
| 佐久間涼子 |
ベストプレゼンテーション賞 |
精密工学会 |
2017 |
9 |
| 増井周造 |
ベストプレゼンテーション賞 |
精密工学会 |
2017 |
9 |
| 道畑正岐 |
日本機械学会奨励賞（研究）
研究テーマ：マイクロスケール三次元形状標準を実現する超精密光応用計測の研究 |
日本機械学会 |
2017 |
4 |
| 鈴木裕貴 |
工学系研究科研究科長賞（研究最優秀） |
東京大学工学系研究科 |
2017 |
3 |
| 松本弘一 |
精密工学会フェロー |
精密工学会 |
2017 |
3 |
| 孔徳卿 |
Best Student Award |
ISOT2016 |
2016 |
11 |
| 高増潔 |
工業標準化事業表彰：経済産業大臣表彰 |
経済産業省 |
2016 |
10 |
| 橘一輝 |
優秀講演論文賞 |
日本機械学会生産加工・工作機械部門 |
2016 |
9 |
| 松本弘一 |
精密工学会賞 |
精密工学会 |
2016 |
9 |
| 工藤良太 |
精密工学会研究奨励賞
対象論文：工藤良太, 高橋哲, 高増潔：変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究（第4報）−コヒーレント結像逐次再構成型超解像法の実験的検証−，精密工学会誌
81 (7)，2015，684-691 |
精密工学会 |
2016 |
3 |
| 橘一輝 |
ベストプレゼンテーション賞 |
精密工学会 |
2016 |
3 |
| 陳梅雲 |
ベストプレゼンテーション賞 |
精密工学会 |
2016 |
3 |
|
増井周造
|
精密工学科卒業論文賞 |
東京大学工学系研究科精密工学科 |
2016 |
3 |
| Kazuki Tachibana, Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu |
日本機械学会生産加工・工作機械部門 優秀講演論文表彰
対象論文：Kazuki Tachibana, Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu:
High-sensitive optical measurement of fine particulate defects on Si wafer
surface with liquid probe |
日本機械学会 |
2015 |
10 |
|
鈴木裕貴
|
精密工学科卒業論文賞 |
東京大学工学系研究科精密工学科 |
2015 |
3 |
| 鈴木裕貴 |
ベストプレゼンテーション賞 |
精密工学会 |
2015 |
3 |
| Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu |
Excellent Paper Award
対象論文：Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu:
Non-Contact Measurement Technique for Dimensional Metrology Using Optical
Comb |
LMPMI2014 |
2014 |
9 |
| 田原弘之 |
ベストプレゼンテーション賞 |
精密工学会 |
2014 |
9 |
| 王肖南 |
ベストプレゼンテーション賞 |
精密工学会 |
2014 |
3 |
| Ryota Kudo, Hiroki Yokozeki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu |
日本機械学会生産加工・工作機械部門 優秀講演論文表彰
対象論文：Ryota Kudo, Hiroki Yokozeki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: Coherent
Imaging Algorithm of Super-Resolution Optical Inspection with Structured
Light Shift |
日本機械学会 |
2013 |
11 |
| Agustinus Winarno, Satoru Takahashi, Akiko Hirai, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu
Matsumoto |
Measurement Science and Technology Highlights of 2012
対象論文 Absolute measurement of gauge block without wringing using tandem
low-coherence interferometry |
Measurement Science and Technology |
2013 |
4 |
| 沖藤春樹 |
ベストプレゼンテーション賞
対象発表：沖藤春樹，高橋哲，高増潔，半導体の線幅標準に関する研究（第10報）−AFM及びSTEMによるレジスト形状測定− |
精密工学会，2013年度春季大会 |
2013 |
3 |
| 高増潔 |
精密工学会フェロー |
精密工学会 |
2013 |
3 |
| 工藤良太 |
優秀講演賞
対象発表：工藤良太，高橋哲，高増潔，半導体ベアウエハ表面ナノ欠陥の超解像光学式計測に関する研究 |
砥粒加工学会，
2012年度学術講演会 |
2012 |
11 |
| 尾上太郎 |
ベストプレゼンテーション賞
対象発表：尾上太郎，高橋哲，高増潔，松本弘一，非接触精密光コム距離測定技術の開発（第2報）−2台の光コムと周波数シンセサイザを用いた測距− |
精密工学会，2012年度春季大会 |
2012 |
3 |
| 韋冬 |
コニカミノルタ画像科学奨励賞（進歩賞）：逐次探索による深さ方向計測法の開発 |
コニカミノルタ科学技術振興財団 |
2012 |
3 |
| 宮川幸大 |
工学部長賞 |
東京大学工学部 |
2012 |
3 |
| 楊平 |
工学系研究科研究科長賞 |
東京大学工学系研究科 |
2012 |
3 |
| Ping Yang, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu
Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji |
精密工学会沼田記念論文賞
対象論文 Multi-probe scanning system comprising three laser interferometers
and one autocollimator for measuring flat bar mirror profile with nanometer
accuracy
|
精密工学会 |
2012 |
3 |
| D. Wei, N. Wu, K. Takamasu, H. Matsumoto |
ASPEN2011 Best Paper Award |
ASPEN201 |
2011 |
11 |
| 松本弘一 |
計量制度の運営の貢献の表彰 |
経済産業省 |
2011 |
11 |
| 韋冬 |
独創性を拓く先端技術大賞（文部科学大臣賞）
対象研究 フェムト秒光周波数コムの時間コヒーレンス特性を用いた新長さ計測法の提案 〜次世代長さトレーサビリティーネットワークの実現に向けて〜
|
日本工業新聞社 |
2011 |
7 |
| 韋冬 |
笹川科学研究奨励賞 |
財団法人日本科学協会 |
2011 |
4 |
| 韋冬 |
工学系研究科研究科長賞 |
東京大学工学系研究科 |
2011 |
3 |
| 大嶋崇良 |
精密工学科最優秀卒論賞 |
東京大学工学系研究科精密工学科 |
2011 |
3 |
| 楊平 |
Best Poster Presentation, 3rd GMSI International Symposium |
グローバルCOE「機械システム・イノベーション国際拠点」 |
2011 |
3 |
| 楊平 |
Most Outstanding Project Execution, GMSI 2010 PBL Project |
グローバルCOE「機械システム・イノベーション国際拠点」 |
2011 |
3 |
| 池田裕一 |
ベストポスタープレゼンテーション賞
対象発表：池田裕一，高橋哲，高増潔，近接場光を用いたナノインプリント残膜厚測定法に関する研究（第7報）−細線間における残膜厚計測の実験的検討− |
精密工学会，2010年度秋季大会 |
2010 |
9 |
| 高村智彦 |
ベストポスタープレゼンテーション賞
対象発表：高村智彦，楊平，高増潔，高橋哲，佐藤理，大澤尊光，高辻利之，高精度CMMの開発（第3報）−3点法による参照面形状とステージの運動学誤差の評価− |
精密工学会，2010年度秋季大会 |
2010 |
9 |
| Dong Wei, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto |
Outstanding Paper Award, 10th ISMQC2010
対象論文： Advanced Absolute Length Metrology Based On Pulse Trains' Constructive
Interference - Measurements of Meter Order with an Accuracy of Nano Order
- |
IMEKO TC14 |
2010 |
9 |
| 池田裕一，長尾天平，高橋哲，高増潔 |
奨励賞
対象発表：近接場光学に基づいたナノインプリント加工薄膜の精密膜厚計測に関する研究，型技術ワークショップ2009，2009 |
型技術協会 |
2010 |
6 |
| 韋冬 |
Best Poster Presentation, 2nd GMSI International Symposium |
グローバルCOE「機械システム・イノベーション国際拠点」 |
2010 |
4 |
| 韋冬 |
優秀履修生 |
グローバルCOE「機械システム・イノベーション国際拠点」 |
2010 |
4 |
| 高橋哲，妻屋彰，金子順一，割澤伸一 |
精密工学会特別貢献賞
電子投稿・校閲システムの構築 |
精密工学会 |
2010 |
3 |
| 劉淑杰 |
精密工学会研究奨励賞
対象論文：S. Liu, K. Watanabe, X. Chen, S. Takahashi, K. Takamasu, Profile mesurement
of a wid-area resist surface using a multi-ball cantilever system, Prec.
Eng. 33, 2009, 50-55 |
精密工学会 |
2010 |
3 |
| Keisuke Matsuda |
Best Paper Award
In-process visualization of laser-assisted three-dimensional microfabrication
using photocatalyst nanoparticles |
ASPEN2009 |
2009 |
11 |
| 飯田文明（精密工学会誌編集学生委員2008年度） |
Best Article Award |
精密工学会 |
2009 |
10 |
| R. Kudo |
György Striker Junior Paper Award
Fundamental Verification fo 2-Dimensional Super-Resolution Optical Inspection
for Semiconductor Defects by Using Standing Wave Illumination Shift |
IMEKO
IMEKO World Congress 2009 |
2009 |
9 |
| 臼杵深，西岡宏晃，高橋哲，高増潔 |
精密工学会論文賞
変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究（第1報）−解像特性の理論的検討− |
精密工学会 |
2009 |
3 |
| 長野敏宗 |
システム創成学科学科長賞 |
東京大学工学部 |
2009 |
3 |
| 飯田文明（精密工学会誌編集学生委員2007年度） |
Best Article Award |
精密工学会 |
2008 |
10 |
| 梶原優介，稲月友一，高橋哲，高増潔 |
精密工学会論文賞
エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究（第2報）−定在エバネッセント光を利用した微細周期構造創製− |
精密工学会 |
2008 |
3 |
| 岡田真一 |
日本機械学会三浦賞 |
日本機械学会 |
2008 |
3 |
| 桑原一樹 |
システム創成学科学科長賞 |
東京大学工学部 |
2008 |
3 |
| 梶原優介 |
工学系研究科研究科長賞 |
東京大学工学系研究科 |
2008 |
3 |
| Kiyoshi Takamasu, Keisuke Yoshida, Tatsuya Senoo, Xin Chen, Kiyoshi Kotani, Satoru Takahashi |
Award certification of Merit for the paper
Calibration of 6 DOF Parallel Mechanism Driven by Planar Motors |
ISMQC 2007, IMEKO TC 14, IITM, India |
2007 |
11 |
| 飯田文明（精密工学会誌編集学生委員2006年度） |
Best Article Award |
精密工学会 |
2007 |
10 |
| 陳欣，高増潔，小谷潔，石田敏博 |
精密工学会論文賞
平面リニアモータの精度校正に関する研究（第1報）−反射ミラーの形状計測− |
精密工学会 |
2007 |
3 |
| 劉淑杰，長澤秀一，高橋哲，高増潔 |
生産加工・工作機械部門 優秀講演論文賞
マルチボールカンチレバーのナノ計測特性 |
日本機械学会 |
2006 |
11 |
| Shin Usuki |
Best Student Paper Award 2006
Development of super-resolution optical inspection system for semiconductor defects using standing wave illumination shift |
SPIE |
2006 |
10 |
| 武内徹（精密工学会誌編集学生委員2005年度） |
Best Article Award |
精密工学会 |
2006 |
10 |
| 高増潔，高偉，高谷裕浩，笹島和幸 |
ベストオーガナイザー賞 |
精密工学会 |
2006 |
9 |
| 飯田文明 |
工学部長賞 |
東京大学工学部 |
2006 |
3 |
| 高増潔，高偉，高谷裕浩，笹島和幸 |
ベストオーガナイザー賞 |
精密工学会 |
2006 |
3 |
| 臼杵深，影山大輔，高橋哲，高増潔，江並和宏，平木雅彦 |
ベストプレゼンテーション賞
リング状スリット光を用いた三次元変位測定（第5報）−小型・一体化装置の開発− |
精密工学会 |
2006 |
3 |
| 臼杵深，西岡宏晃，高橋哲，高増潔 |
ベストプレゼンテーション賞
定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査（第1報）−欠陥検出特性の検討− |
精密工学会 |
2006 |
3 |
| 高橋哲他 |
ファナックFAロボット財団論文賞特別賞 |
ファナックFAロボット財団 |
2006 |
3 |
| Shujie Liu, Shuichi Nagasawa, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu |
Best Student Paper Award
Profile Measurement of Resist Surface Using Multi-Ball-Cantilever AFM |
SPIE |
2005 |
12 |
| 奥野将樹（精密工学会誌編集学生委員2004年度） |
Best Article Award |
精密工学会 |
2005 |
10 |
| 高増潔，高偉，高谷裕浩，笹島和幸 |
ベストオーガナイザー賞 |
精密工学会 |
2005 |
3 |
| 高橋哲他 |
精密工学会沼田記念論文賞 |
精密工学会 |
2005 |
3 |
| R.Furutani, K. Shimojima, K. Takamasu: Parameter Calibration for non-Cartesian CMM |
Excellent Paper (1st prize) |
IMEKO 8th ISMQC |
2004 |
10 |
| ロータリーエンコーダの角度標準とトレーサビリティに関する共同研究会（1999年4月〜2003年1月，主査：梶谷誠），高増潔 他 |
精密工学会高城賞 |
精密工学会 |
2004 |
9 |
| 高増潔，高偉，高谷裕浩，笹島和幸 |
ベストオーガナイザー賞 |
精密工学会 |
2004 |
9 |
| 高橋哲他 |
工作機械技術振興賞（論文賞） |
工作機械技術振興財団 |
2004 |
6 |
| 高増潔，高偉，高谷裕浩，笹島和幸 |
ベストオーガナイザー賞 |
精密工学会 |
2004 |
3 |
| 高橋哲他 |
精密工学会賞 |
精密工学会 |
2004 |
3 |
| 高橋哲他 |
型技術者会議2002奨励賞 |
型技術協会 |
2003 |
6 |
| 高増潔，高偉，高谷裕浩 |
ベストオーガナイザー賞 |
精密工学会 |
2003 |
3 |
| 高増潔，高偉，高谷裕浩 |
ベストオーガナイザー賞 |
精密工学会 |
2002 |
10 |
| 佐藤理，高増潔 |
ベストプレゼンテーション賞 |
精密工学会 |
2002 |
3 |
| 高橋哲他 |
優秀講演論文表彰 |
日本機械学会 |
2001 |
11 |
| 高増潔，高偉，高谷裕浩 |
ベストオーガナイザー賞 |
精密工学会 |
2001 |
10 |
| O.Sato, M. Hiraki, K. Takamasu, S. Ozono |
Outstanding Poster Award |
10th ICPE |
2001 |
7 |
| 高橋哲他 |
型技術者会議2000奨励賞 |
型技術協会 |
2001 |
6 |
| 高増潔，高偉，高谷裕浩 |
ベストオーガナイザー賞 |
精密工学会 |
2001 |
3 |
| 高橋哲他 |
精密工学会論文賞 |
精密工学会 |
2001 |
3 |
| 高橋哲他 |
精密工学会賞 |
精密工学会 |
2000 |
3 |
| 高増潔，笹島和幸 |
ベストオーガナイザー賞 |
精密工学会 |
1997 |
3 |
| 高橋哲他 |
精密工学会賞 |
精密工学会 |
1997 |
3 |
