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論文・業績などのリスト

高増・高橋研究室およびトレーサビリティ計測工学寄付講座の2015年度の論文,業績のリストです.カテゴリー別の過去の論文なども左のリンクから参照できます.

最新年度(2016年度)論文リスト


2016年度高増 ・高橋研究室研究成果には,各論文が載っています.
必要な方は,メールで送付先をお教えください.メールアドレス:takamasu[at]pe.t.u-tokyo.ac.jp

学術論文および著書
  1. Chen Meiyun, Takahashi Satoru, Takamasu Kiyoshi: Calibration for the sensitivity of multi-beam angle sensor using cylindrical plano-convex lens, Precision Engineering 46, 2016, 254-262 [PDF File]
  2. Dong Wei, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto: Is the Two-Color Method Superior to Empirical Equations in Refractive Index Compensation?, Optics and Photonics Journal 2016 (6), 2016, 8-13 [PDF File]
  3. Chen Meiyun, Takahashi Satoru, Takamasu Kiyoshi: Multi-Beam Angle Sensor for Flatness Measurement of Mirror using Circumferential Scan Technology, International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 17 (9), 2016, 1093-1099 [PDF File]
  4. Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto: Non-contact precision profile measurement to rough-surface objects with optical frequency combs, Measurement Science Technology 27, 2016, 124002-1-7 [PDF File]

解説論文,講演など
  1. 高橋哲:(招待講演)構造照明シフトによる超解像光学式欠陥計測技術の開発, 精密工学会・超精密位置決め専門委員会前刷集2016-1 (4),第110回定例会「位置決め技術トピックスから見た動向と注目トピックス」, 2016, 31
  2. 高増潔,スダータムウィロート:光コムによる絶対距離測定と三次元計測技術, 光技術コンタクト 54 (5), 2016, 18-24
  3. 高増潔:幾何特性仕様と幾何公差の解釈および測定方法, 検査技術 21 (9), 2016, 1-4
  4. 高橋哲:光でめざすものづくり−回折限界超越への挑戦−, 生産研究 68 (5), 2016, 353-358
  5. 元行勝己, 山下守, 白川周, 田中秀岳, 道畑正岐:(Gravure & Interview 精密工学の最前線)高精度な工作機械を支えるエンコーダの技術 ハイデンハイン株式会社, 精密工学会誌 82 (9), 2016, 769-772
  6. 橘一輝,道畑正岐,高増潔,高橋哲:日本機械学会 生産加工・工作機械部門部門優秀講演論文賞, 日本機械学会 生産加工・工作機械部門ニュースレター No. 50, 2016, 7-8
  7. 高橋哲,工藤良太:(特集 超える : 空間・時間分解能)回折限界を超える観察技術−特殊定在波照明によるコヒーレント結像逐次再構成, 光アライアンス 27 (11), 2016, 1-5
  8. 道畑正岐:(精密工学会アフィリエイト)第28回アフィリエイト委員会 & 第21回アフィリエイト見学会の開催報告, 精密工学会誌 82 (11), 2016, 964-966
  9. 松本弘一:2016年度(第12回)精密工学会賞受賞業績の紹介,精密工学会誌 82(12), Introduction of JSPE PRIZES 2016, Precision Engineering 48, 2016
  10. 松本弘一:(特集 オプトメカトロニクスにかける夢)光センシング分野の夢, 光技術コンタクト 55 (1), 2017, 4-11
  11. 高増潔:(特別講演)絶対距離測定の高精度化と応用−長さのトレーサビリティからパルス干渉計測へ−, 精密工学会中国四国支部特別講演会,広島市, 2017
  12. 高橋哲:(招待講演)マイクロ・ナノ製造のための光エネルギー援用加工計測技術, 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ・システムナノ技術に関する時限研究専門委員会第4回研究会, 2016
  13. 高橋哲:(招待講演)光でめざすものづくりー回折限界超越への挑戦ー, 東大駒場リサーチキャンパス公開2016,オープニングセレモニー講演, 2016
  14. 松本弘一:光計測標準にひかれて46年, 2016年度精密工学会秋季贈賞式,精密工学会賞受賞記念講演, 2016

学術講演(国際会議)
  1. Yuki Suzuki, Hiroyuki Tahara, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Evanescent Light Exposing System under Nitrogen Purge for Nano-Stereolithography, 18th CIRP Conference on Electro Physical and Chemical Machining, Tokyo, Japan, Procedia CIRP 42, 2016, 77-80
  2. Fuminori Kimura, Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto: Precision absolute distance measurement technique onto rough surface object using self-beat signals of optical frequency comb, euspen2016, 16th International Conference & Exhibition, Nottingham, UK, 2016, P1.25
  3. Yuki Iwaki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: Development of 3D form measurement of semiconductor structure - Measurement of FinFET profile using TEM and CD-SEM images, euspen2016, 16th International Conference & Exhibition, Nottingham, UK, 2016, P1.52
  4. Kazuki Tachibana, Shohei Asai, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: High-sensitive Optical Detection of Fine Particulate Defects by Autonomous Searching Liquid Probe: Observation of Dynamic Interaction with Defects, CLEO2016, Conference on Lasers and Electro-Optics, San Jose, USA, 2016, ATu3J.4
  5. Chengshuo Jin, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Development of non-destructive optical depth measurement of sub-diffraction limit fine holes, nanoMan2016, 5th International Conference on Nanomanufacturing, Macau, China, 2016, 1-4
  6. Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: Proposal of in-process measurement for micro-stereolithography using surface plasmon resonance, LANE2016, 9th International Conference on Photonic Technologies, Physics Procedia 83, 2016, 964-970
  7. Satru Takahashi: (Invited Presentation) Challenge of Evanescent Light Exposing Microstereolithography, JSAP-OSA Joint Symposia 2016, Niigata, Japan, 2016, 14p-C301-1
  8. Shuzo Masui, Yosuke Horita, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Theoretical analysis of improved back-focal-plane interferometry for monitoring nanoparticle position, ASPE2016, 31st ASPE Annual Meeting, Portland, USA, 2016, 136-139
  9. Yuki Suzuki, Kunikazu Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Omnidirectional one-shot exposure micro-stereolithography for biomimetic hemisphere with micro structured surface, ASPE2016, 31st ASPE Annual Meeting, Portland, USA, 2016, 407-410
  10. Xicheng Wang, Muzheng Xiao, Chao Wang, Xin Jin, Zhijing Zhang, Kiyoshi Takamasu: Distance measurement for rotation center to measurement table using triangulation method, Chinese Society for Optical Engineering Conferences, Proc. of SPIE 10255, 2016, 102553W1-10
  11. Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: A tunable surface-plasmon-resonance substrate for in-process measurement of micro-stereolithography, ISOT2016, International Symposium on Optomechatronics Technologies, Itabashi, Tokyo, Japan, 2016, B6-5
  12. Shuzou Masui, Yosuke Horita, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Improved back-focal-plane interferometry for monitoring nanoparticle position, ISOT2016, International Symposium on Optomechatronics Technologies, Itabashi, Tokyo, Japan, 2016, C2-3
  13. Kazuki Tachibana, Shouhei Asai, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Optical detection of fine particulate defects by autonomous searching liquid probe: Theoretical design of high sensitive phase detection system, ISOT2016, International Symposium on Optomechatronics Technologies, Itabashi, Tokyo, Japan, 2016, C2-4
  14. Bohuai Chu, Masaki Michihata, Kohei Hayashi, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Calibration of refractive index in microsphere diameter measurement based on analysis of polarized whispering gallery mode, ISOT2016, International Symposium on Optomechatronics Technologies, Itabashi, Tokyo, Japan, 2016, C5-3
  15. Tatsuya Kume, Tsutomu Mibe, Shoichiro Nishimura, Mikio Sakurai, Yutaro Satoh, Wiroj Sudatham, Kiyoshi Takamasu, Hiromasa Yasuda: Precise alignment monitor by using optical frequency comb for the muon g-2/EDM experiment at J-PARC, IWAA2016, International Workshop on Accelerator Alignment, Grenoble, France, 2016
  16. Chengshuo Jin, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Non-Destructive Optical Depth Inspection of Sub-Diffraction Limit Fine Holes -Theoretical analysis of optical responses based on FDTD method-, ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering, Hamamatsu, Japan, 2016, A317-8233
  17. Yuki Suzuki, Kunikazu Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Fabrication of Functional Microstructures by Multi-Beam Interference Lithography Using Evanescent Light, ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering, Hamamatsu, Japan, 2016, B103-8177
  18. Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: In-process measurement for micro-stereolithography using surface plasmon resonance, ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering, Hamamatsu, Japan, 2016, P47-8252
  19. Kazuki Tachibana, Shohei Asai, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Optical Detection of Fine Particulate Defects with Autonomous Search-and-split Liquid Probe -Characteristics analysis of optical detection-, ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering, Hamamatsu, Shizuoka, Japan, 2016, A307-8210
  20. Fuminori Kimura, Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto: Non-contact Precision Profile Measurement to Rough Surface Objects with Optical Frequency Combs, ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering, Hamamatsu, Shizuoka, Japan, 2016, A312-8209
  21. Yuki Iwaki, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Development of Advanced Measurement Method of 3D Semiconductor Structure - 3D-Profile Measurement of FinFET using CD-SEM and TEM Images -, ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering, Hamamatsu, Shizuoka, Japan, 2016, A315-8166
  22. Winarno Agustinus, Shusei Masuda, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu, Takao Kitayama, Ryota Kudo, Katsuyoshi Endo: Non-Contact Remote Measurement of Internal Distance Between Two Plane Mirrors by Using a Tandem Low-Coherence Interferometer, ASPEN/ASPE 2017, Spring Topical Meeting Manufacture and Metrology of Structured and Freeform Surfaces for Functional Applications, Hong Kong, China, 2017
  23. Kiyoshi Takamasu: (Keynote) High-Accuracy Absolute Length Measurement Using Optical-Comb Pulsed Interferometer and Its Application for Verification of Coordinate Measuring Machines, ASPEN/ASPE 2017, Spring Topical Meeting Manufacture and Metrology of Structured and Freeform Surfaces for Functional Applications, Hong Kong, China, 2017, 1-4
  24. Kiyoshi Takamasu, Yuuki Iwaki, Satoru Takahashi, Hiroki Kawada, Masami Ikota: 3D-Profile Measurement of Advanced Semiconductor Features by Using FIB as Reference Metrology, SPIE Advanced Lithography, San Jose, USA, 2017, 10145-67

学術講演(国内会議)
  1. 木村文紀,尾上太郎,高橋哲,高増潔,松本弘一:非接触精密光コム距離測定技術の開発(第10 報)−複数周波数を用いた絶対計測手法−, 第17回高エネ研メカ・ワークショップ報告集, 2016, 33-34
  2. Agustinus Winarno, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: Basic principle of non-contact absolute internal distance measurement between two mirrors by using a low-coherence tandem interferometer, 第17回高エネ研メカ・ワークショップ報告集, 2016, 35-37
  3. 鈴木裕貴,松本侑己,道畑正岐,高増潔,高橋哲:エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究(第25報)−機能性評価に向けた表面微細構造創製装置の開発−, 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会, 茨城大学, 2016, E13
  4. 久米大将,道畑正岐,高増潔,高橋哲:定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第21報)−ガウシアンフィルタによる点像分布関数制御のための基礎実験装置の構築−, 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会, 茨城大学, 2016, H03
  5. 橘一輝,浅井祥平,道畑正岐,高増潔,高橋哲:自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究(第4報)−液相プローブ高感度観察装置の検討−, 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会, 茨城大学, 2016, H04
  6. 岩城祐輝,高橋哲,高増潔:半導体構造の形状評価の研究(第3報)−斜め切りCD-SEM画像によるFinFET形状の測定−, 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会, 茨城大学, 2016, H06
  7. 儲博懐,道畑正岐,林晃平,高増潔,高橋哲:WGM共振を利用した微小球の直径計測(第6報)−近似式を用いた屈折率推定法の検討−, 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会, 茨城大学, 2016, H08
  8. 山口悠希,道畑正岐,水谷康弘,高谷裕浩:光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究(第4報)−振動型光放射圧プローブを実装したハイブリッド計測器の構築−, 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会, 茨城大学, 2016, H09
  9. Agustinus Winarno, Shusei Masuda, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Takao Kitayama, Ryota Kudo, Katsuyoshi Endo: Non-contact absolute internal distance measurement between two mirrors by using a low-coherence tandem interferometer (2nd Report) -Evaluation of the length compensation value due to difference of group refractive index-, 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会, 茨城大学, 2016, H15
  10. 大西徹,高増潔:現場環境におけるパラレルメカニズムを用いた三次元測定機の高度化−温度ドリフトの評価および補正−, 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会, 茨城大学, 2016, H19
  11. 金成碩,道畑正岐,高増潔,高橋哲:サブ回折限界微小開口の非破壊光学式深さ計測法(第2報)−基礎検証実験装置の構築−, 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会, 茨城大学, 2016, H32
  12. 松本弘一,高増潔,杉村彰紀:光エタロンのトレーサビリティーとその光波応用計測技術, 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会, 茨城大学, 2016, H36
  13. 木村文紀,尾上太郎,高橋哲,高増潔,松本弘一:非接触精密光コム距離測定技術の開発(第12報)−複数周波数計測による大型物体の計測−, 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会, 茨城大学, 2016, H39
  14. 宮地純平,陳梅雲,高橋哲,高増潔:マルチ角度センサを用いた小型非球面の形状測定(第1報), 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会, 茨城大学, 2016, M07
  15. 三浦由佳,中西正一,樋口英一,高増潔,阿部誠,佐藤理:Virtual CMMによる不確かさの検証−CMMによるステップゲージ測定−, 第33回センシングフォーラム 計測部門大会,近畿大学, センシングフォーラム資料 33, 2016, 278-282
  16. 松本弘一,高増潔,杉村彰紀:光ファイバーエタロン型低コヒーレンス干渉による幾何学量の絶対測定, 第77回応用物理学会秋季学術講演会,朱鷺メッセ, 2016, 16a-C42-2
  17. 松本弘一:低コヒーレンス干渉計測法における周波数トレーサビリティーの検討, 第77回応用物理学会秋季学術講演会,朱鷺メッセ, 2016, 16a-C42-3
  18. 道畑正岐,儲博懐,高増潔,高橋哲:Whispering gallery mode共振を用いたマイクロ球径計測−偏光に着目した屈折率校正法の提案−, 日本機械学会 2016 年度年次大会,九州大学, 2016, S1330103
  19. 増井周造,堀田陽亮,道畑正岐,高増潔,高橋哲:後側焦点面干渉法を用いた光触媒ナノ加工粒子変位計測の高感度化, 日本機械学会 2016 年度年次大会,九州大学, 2016, S1330201
  20. 松本侑己,鈴木裕貴,道畑正岐,高増潔,高橋哲:エバネッセント露光型ナノ光造形に関する研究−エバネッセント露光用光効果性樹脂の開発−, 第11回 日本機械学会 生産加工・工作機械部門講演会,名古屋大学, 2016, 101-102
  21. 孔徳卿,道畑正岐,高増潔,高橋哲:表面プラズモン共鳴を用いたマイクロ光造形のインプロセス計測, 第11回 日本機械学会 生産加工・工作機械部門講演会,名古屋大学, 2016, 183-184
  22. Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Optimization on a PLZT based multi-layer surface plasmon resonance substrate used in in-process measurement of nano-stereolithography, Optics & Photonics Japan 2016,筑波大学 東京キャンパス, 2016, 2aD6
  23. 浅井祥平,橘一輝,道畑正岐,高増潔,高橋哲:自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究(第6報)−数値流体力学を用いた液相プローブの挙動特性に関する解析−, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会, 慶應大学, 2017, B04
  24. 松本弘一,高増潔:光周波数法による幾何学量の絶対測定技術, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会, 慶應大学, 2017, D03
  25. 尾上太郎,木村文紀,高橋哲,高増潔,松本弘一:非接触精密光コム距離測定技術の開発(第13報)−回転ミラーによる粗面金属曲面計測とCMMによる評価−, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会, 慶應大学, 2017, D06
  26. 原昌平,Wiroj Sudatham,高増潔,高橋哲,松本弘一:光コムパルス干渉計を用いた三次元測定機の高精度検査手法(第1報)−ポータブル干渉計の高精度化−, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会, 慶應大学, 2017, D09
  27. 橘一輝,浅井祥平,道畑正岐,高増潔,高橋哲:自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究(第5報)−位相利用高感度観察装置による検出−, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会, 慶應大学, 2017, D15
  28. Agustinus Winarno, Shusei Masuda, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Takao Kitayama, Ryota Kudo, Katsuyoshi Endo: Non-contact absolute internal distance measurement between two mirrors by using a low-coherence tandem interferometer (3rd Report) -Uncertainty budget-, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会, 慶應大学, 2017, D20
  29. 山口悠希,道畑正岐,水谷康弘,高谷裕浩:光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究(第5報)−イメージングの高コントラスト化−, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会, 慶應大学, 2017, D32
  30. 趙正,儲博懐,林晃平,道畑正岐,高増潔,高橋哲:WGM共振を利用した微小球の直径計測(第8報)−有限要素法を用いたWGM結合解析−, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会, 慶應大学, 2017, D34
  31. Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: In-process measurement of evanecent wave based nano-stereolithography using critical angle shift, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会, 慶應大学, 2017, D39
  32. 郭翔,尾上太郎,高橋哲,高増潔,近藤余範,尾藤洋一:大型非球面形状のナノメートル測定−オートコリメータ自己校正の実験的検証−, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会, 慶應大学, 2017, D62
  33. 宮地純平,高橋哲,高増潔:マルチ角度センサを用いた小型非球面の形状測定(第2報)−基礎実験と精度評価−, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会, 慶應大学, 2017, D64
  34. 金成碩,道畑正岐,高増潔,高橋哲:サブ回折限界微小開口の非破壊光学式深さ計測法(第3報)−提案手法の原理検証−, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会, 慶應大学, 2017, D67
  35. 儲博懐,道畑正岐,林晃平,高増潔,高橋哲:WGM共振を利用した微小球の直径計測(第7報)−共振波長の精密計測−, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会, 慶應大学, 2017, D69
  36. 松本侑己,鈴木裕貴,道畑正岐,高増潔,高橋哲,工藤宏人:エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究(第27報)−エバネッセント光による面内形状制御性の解析−, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会, 慶應大学, 2017, G44
  37. 鈴木裕貴,松本侑己,道端正岐,高増潔,高橋哲,工藤宏人:エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究(第26報)−多光束干渉によるミリオーダ領域のサブミクロン表面微細構造創製−, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会, 慶應大学, 2017, N38
  38. 林晃平,儲博懐,趙正,道畑正岐,高増潔,高橋哲:Whispering Gallery Mode 共振を利用したマイクロ球直径計測 ―楕円体モデルの構築―, 第64回応用物理学会春季学術講演会,パシフィコ横浜, 2017, 15p-312-7
  39. 安田浩昌,久米達哉,齊藤直人,佐藤優太郎,西村昇一郎,高増潔,三部勉,Wiroj Sudatham: J-PARCにおけるミューオンg-2/EDM精密測定に向けた検出器アライメントモニターの開発, 日本物理学会2017年次大会,大阪大学, 2017