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論文・業績などのリスト

高増・高橋研究室の2017年度の論文，業績のリストです．カテゴリー別の過去の論文なども左のリンクから参照できます．

最新年度（2017年度）論文リスト


2017年度高増 ・高橋研究室研究成果には，各論文が載っています．
必要な方は，メールで送付先をお教えください．メールアドレス：takamasu[at]pe.t.u-tokyo.ac.jp

学術論文および著書
  1. Masaki Michihata, Shin-ichi Ueda, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Yasuhiro Takaya: Scanning dimensional measurement using laser-trapped microsphere with optical standing-wave scale, Optical Engineering 56 (6), 2017, 064103 1-9
  2. S. Takahashi, C. Jin, S. Ye, M. Michihata, K. Takamasu: Theoretical analyses of in-process depth measurements of fine microgrooves based on near-field optical response, CIRP Annals - Manufacturing Technology 66, 2017, 503-506
  3. Satoru Takahashi, Yuki Shimizu, Yasuhiro Mizutani: Editors for Special Issue on Intelligent Measurement for Advanced Production Engineering, IJAT 11 (5), 2017
  4. Tingzhi Hu, Muzheng Xiao, Xicheng Wang, Chao Wang, Zhijing Zhang, Kiyoshi Takamasu: High-Precision Aspheric Surface Measurement Using Scanning Deflectometry: Three-Dimensional Error Analysis and Experiments, IJAT 11 (5), 2017, 728-735
  5. Masaki Michihata, Deqing Kong, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: A Simulation Study of Plasmonic Substrate for In-Process Measurement of Refractive Index in Nano-Stereolithography, IJAT 11 (5), 2017, 772-780
  6. Agustinus Winarno, Shusei Masuda, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu: Noncontact method of point-to-point absolute distance measurement using tandem low-coherence interferometry, Measurement Science and Technology 29, 2018, 025006, 1-8
  7. Masaki Michihata, Jonggang Kim, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya: Surface Imaging Technique by an Optically Trapped Microsphere in Air Condition, Nanomanufacturing and Metrology (2018) 1, 2018, 32-38
  8. 道畑正岐，儲博懐，趙正，林晃平，高増潔，高橋哲: Whispering Gallery Mode共振を用いたマイクロ球の直径計測, 精密工学会誌 84 (1), 2018, 77-84
  9. 大西徹，高増潔: 温度環境を考慮した三次元測定機の高度化（第1報　目盛誤差による温度測定誤差の評価）, 設計工学 53 (4), 2018, 313-322

解説論文，講演など
  1. 松本弘一: 大型産業を牽引する「長い距離・大寸法の計測技術の開発」, 革新的な技術はどのようにして生まれたか−AISTにおける革新的研究成果誕生秘話―，産工会WEBサイト, 2017, 1-21
  2. 高橋哲: 環境変動によらず持続的に環境安全を維持するための俯瞰的想像力育成の重要性, 東京大学環境安全研究センター　環境安全, 論壇, No 153, ISSN 0910-125X, 2017, 2-3
  3. 高増潔: 製品の幾何特性仕様 サイズとサイズ公差, 日本ねじ研究協会誌 48 (8), 2017, 223-226
  4. Kiyoshi Takamasu, Wiroj Sudatham: High-Accuracy Absolute Length Measurement Using an Optical-Comb Pulsed Interferometer: Verification of Coordinate Measuring Machines, IJAT 11 (5), 2017, 682-690
  5. 編集委員　高増潔，谷村吉久，澤田克秀: 精密測定の歴史　沢辺雅二氏遺稿集, 2017
  6. 高増潔: 巻頭言　精密測定の歴史と沢辺雅二氏の功績, 精密測定の歴史　沢辺雅二氏遺稿集, 2017, 1-2
  7. ISO/TC 213国内委員会: ISO/TC 213（製品の幾何特性仕様及び検査：GPS）東京会議報告, SQ標準化と品質管理 71 (1), 2018, 25-28
  8. 道畑正岐、橋本洋平: <座談会> 精密工学会アフィリエイト委員会に期待すること, 精密工学会誌 84 (1), 2018, 53-56
  9. 道畑正岐: 精密工学会アフィリエイト委員会の紹介, 精密工学会誌 84 (2), 2018, 145-150
  10. 道畑正岐: 第25回精密工学会アフィリエイト見学会報告, 精密工学会誌 84 (2), 2018, 151-152

学術講演（国際会議）
  1. Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Highly Sensitive Back-Focal-Plane Interferometry for Tracking Nanoparticle Position, CLEO2017, San Jose, USA, 2017
  2. Masaki Michihata, Bohuai Chu, Zhao Zheng, Kohei Hayashi, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Accuracy Improvement in Diameter Measurement of Microsphere Based on Whispering Gallery Mode, 59th Ilmenau Scientific Colloquium, Ilmenau, Germany, 2017
  3. K. Hayashi, B. Chu, Z. Zhao, M. Michihata, K. Takamasu, S. Takahashi: Evaluation Strategy of Spheroidal Distortion for Micro-Sphere Based on Whispering Gallery Mode Resonance, 59th Ilmenau Scientific Colloquium, Ilmenau, Germany, 2017
  4. Satoru Takahashi: (Invited Talk) High sensitive and super resolution optical inspection of nanodefects on Si wafer surface using infrared standing evanescent wave, ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China, 2017, Invited Talk 2
  5. Winarno Agustinus, Shusei Masuda, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu: Non-contact method of an absolute length measurement between two ball-lenses using a tandem low-coherence interferometer, ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China, 2017, Paper No. 109
  6. Shohei Hara, Winarno Agustinus, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu: Coordinate measuring machine verification using an optical comb probe with ball-lens targets, ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China, 2017, Paper No. 150
  7. Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: In-process measurement on the thickness of photosensitive resin in evanescent wave-based nano-stereolithography, ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China, 2017, Paper No. 17
  8. Shiwei Ye, Chengshuo Jin, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Experimental verification of a novel in-process depth measurements of diffraction limited micro-groove based on near-field optical response, ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China, 2017, Paper No. 46
  9. Dong Wei, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto: Numerical investigation on refractive index compensation performance of three-color method, ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China, 2017, Paper No. 51
  10. Kazuki Tachibana, Shohei Asai, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Development of nanoparticle detection method based on a new principle combining volatile liquid and optical observation method: Study of highly sensitive optical detection system, ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China, 2017, Paper No.243
  11. Shuzo Masui, Yuki Suzuki, Yuki Matsumoto, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Multi-beam interference lithography based on evanescent wave for functional nano-complex surface, ASPE2017, 32nd American society of precision engineering, Annual meeting, North Carolina, USA, 2017, 113-116
  12. Satoru Takahashi: (Keynote Speech) New Developments for Next-generation Precision Engineering Opened with Localized Light Energy Control, ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea, 2017, KEY-002
  13. Xiang Guo, Satoru Takahashi, Yohan Kondo, Youichi Bitou, Kiyoshi Takamasu: Nanometer Profile Measurement on Large Aspheric Optical Surface, ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea, 2017, MET-O-05
  14. Agustinus Winarno, Shusei Masuda, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu: The Development of an Absolute Internal Distance Measurement Between Two Ball Lenses Within Sub-Micro Accuracy, ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea, 2017, MET-O-06
  15. Shohei Hara, Winarno Agustinus, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu: Accuracy Evaluation of Optical Comb Probe for Coordinate Measuring Machines Verification, ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea, 2017, MET-O-07
  16. Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Monitor Resin’s Curing Degree for In-process Measurement in Micro-stereolithography, ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea, 2017, MET-O-08
  17. Jumpei Miyachi, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Precision Profile Measurement for Small Aspheric Optical Surface by an Multi-beam Angle Sensor, ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea, 2017, MET-O-15
  18. Shuzo Masui, Yuki Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Thoretical Analysis of Multi-Beam Interference Lithography Combining Evanescent and Propagation Light, ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea, 2017, MNF-O-09
  19. Yuki Matsumoto, Yuki Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Double Imaging Micro-Stereolithography for One-Shot Curing of Surface Micro-Structure Unit, ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea, 2017, MNF-O-10
  20. Satoru Takahashi: (Invited Talk) New Developments on Micro/nano Manufacturing Science based on Evanescent Light, IMCC2017, 17th International Manufacturing Conference in China & ICMTE2017, 6th International Conference of Manufacturing Technology Engineers, Shenzhen, China, 2017, 46
  21. Shiwei Ye, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Linnike microscopic interferometry for depth measurement of diffraction limited micro-groove structure on the semiconductor surface, ISOT2017, 18th International Symposium on Optomechatronic Technologies, Tainan, Taiwan, 2017, BK-02
  22. Bohuai Chu, Kohei Hayashi, Zheng Zhao, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: High-precision measurement of dielectric microsphere diameter using whispering gallery mode resonance, LEM21, The 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, Hiroshima, Japan, 2017, E29
  23. Kazuki Tachibana, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Characteristic analysis of phase contrast microscopy in liquid probe type surface inspection method, LEM21, The 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, Hiroshima, Japan, 2017, E39
  24. Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi, Hiroki Kawada, Masami Ikota: Line Width Roughness of Advanced Semiconductor Features by Using FIB and Planar-TEM as Reference Metrology, SPIE Advanced Lithography, San Jose, USA, 2018, 10585-13

学術講演（国内会議）
  1. 安田浩昌，久米達哉，齊藤直人，佐藤優太郎，西村昇一郎，高増潔，三部勉，Wiroj Sudatham: J-PARCにおけるミューオンg-2/EDM精密測定に向けた検出器アライメントモニターの開発−光コムレーザーを用いた絶対測長干渉計の性能評価−, 第18回高エネ研メカ・ワークショップ報告集, 2017, 49
  2. 松本弘一，杉村彰紀，高増潔：光ファイバー寸法のインライン計測・加工技術の開発，2017年度精密工学会秋季大会学術講演会，大阪大学，2017，C15
  3. 佐久間涼子，叶世蔚，道畑正岐，高増潔，高橋哲：サブ回折限界微小開口の非破壊光学式深さ計測法（第4報）−FDTD解析に基づいた低ノイズ光学モデルの構築−，2017年度精密工学会秋季大会学術講演会，大阪大学，2017，C17
  4. 松本弘一，高増潔：分光干渉法による絶対空間位置の計測技術，2017年度精密工学会秋季大会学術講演会，大阪大学，2017，C20
  5. 大西徹，高増潔，高辻利之，阿部誠，佐藤理：現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究−低熱膨張ステップゲージを用いた温度補正の評価−，2017年度精密工学会秋季大会学術講演会，大阪大学，2017，C22
  6. 宮地純平，高橋哲，高増潔：マルチ角度センサを用いた小型非球面の形状測定（第3報）−1軸による非球面測定実験−，2017年度精密工学会秋季大会学術講演会，大阪大学，2017，C34
  7. 久米大将，道畑正岐，高増潔，高橋哲：定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査（第22報）−基礎実験装置の基本機能の確認−，2017年度精密工学会秋季大会学術講演会，大阪大学，2017，C37
  8. 郭翔，高橋哲，近藤余範，尾藤洋一，高増潔：大型非球面形状のナノメートル測定（第15報）−オートコリメータ自己校正の評価−，2017年度精密工学会秋季大会学術講演会，大阪大学，2017，C38
  9. 松本侑己，道畑正岐，高増潔，高橋哲：二重結像型マイクロ光造形法による表面微細構造ユニットの一括創製に関する研究，2017年度精密工学会秋季大会学術講演会，大阪大学，2017，J08
  10. 増井周造，鈴木裕貴，道畑正岐，高増潔，高橋哲：エバネッセント光多方位干渉造形法による次世代表面機能構造の創製（第1報）−RCWA法を用いた光学特性解析−，2017年度精密工学会秋季大会学術講演会，大阪大学，2017，L23
  11. 高谷裕浩，水谷康弘，道畑正岐: 水溶性切削液のレーザー励起蛍光特性を利用した工具刃先形状計測法の基礎的検討, 日本機械学会 2017年度年次大会，埼玉大学, 2017, S1330102
  12. 道畑正岐，趙正，儲博懐，林晃平，高増潔，高橋哲: Whispering gallery mode 共振を用いたマイクロ球径計測（テーパファイバによる光結合解析）, 日本機械学会 2017年度年次大会，埼玉大学, 2017, S1330105
  13. 松本侑己，道畑正岐，高増潔，高橋哲: 二重結像型マイクロ光造形法の硬化特性の検討, 日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2017，筑波大学東京キャンパス, 2017, 1aC8
  14. 松本弘一，高増潔: 空間位置・絶対長さ測定のための分光干渉技術, 日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2017，筑波大学東京キャンパス, 2017, 1pB14
  15. 林政洋，林晃平，道畑正岐，高橋哲，高増潔：光放射圧ポテンシャルに基づく3次元微細構造加工に関する基礎的研究（第1報）−ベッセルビームによる加工原理検証に向けた装置開発−，2018年度精密工学会春季大会学術講演会，中央大学，2018，A06
  16. 松本侑己，道畑正岐，高増潔，高橋哲：自己生長を利用した高アスペクト微細構造創製に関する研究，2018年度精密工学会春季大会学術講演会，中央大学，2018，A07
  17. 松本弘一，高増潔：分光干渉法による絶対空間位置の計測技術（その2），2018年度精密工学会春季大会学術講演会，中央大学，2018，C07
  18. 小林夢輝，儲博懐，趙正，道畑正岐，高橋哲，高増潔：WGM共振を利用した微小球の直径計測（第9報）−半径モード番号の推定手法−，2018年度精密工学会春季大会学術講演会，中央大学，2018，C09
  19. 原昌平，高村智彦，ウィナルノアグスティヌス，高橋哲，松本弘一，高増潔：光コムパルス干渉計を用いた三次元測定機の高精度検査手法（第2報）−光コムプローブによる三次元測定機の検査−，2018年度精密工学会春季大会学術講演会，中央大学，2018，C21
  20. 佐久間涼子，久米大将，道畑正岐，高増潔，高橋哲：微細構造基板を利用した超解像イメージングに関する研究（第1報）−提案手法の解像特性解析−，2018年度精密工学会春季大会学術講演会，中央大学，2018，C33
  21. 叶世蔚，道畑正岐，高増潔，高橋哲：Non-Destructive Optical Depth Inspection of Sub-Diffraction Limit Fine Holes (5th report) ?Experiment verification based on modified Linnike microscopic interferometry?，2018年度精密工学会春季大会学術講演会，中央大学，2018，C37
  22. 趙正，儲博懐，小林夢輝，道畑正岐，高増潔，高橋哲：WGM共振を利用した微小球の直径計測（第10報）−光結合に起因する半径モード励起の解析−，2018年度精密工学会春季大会学術講演会，中央大学，2018，C44
  23. 増井周造，鈴木裕貴，道畑正岐，高増潔，高橋哲，柴沼俊彦，田中大直：エバネッセント光多方位干渉造形法による次世代表面機能構造の創製（第2報）−サブ波長表面構造の造形と光学特性評価−，2018年度精密工学会春季大会学術講演会，中央大学，2018，K08
  24. 孔徳卿，道畑正岐，高増潔，高橋哲：In-process measurement of the resin's conversion degree in micro-stereolithography using near-critical-angle reflection，2018年度精密工学会春季大会学術講演会，中央大学，2018，K16
  25. 古谷成康，増井周造，道畑正岐，高増潔，高橋哲：局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究（第2報）−界面近接光波の任意制御によるマイクロ粒子整理・搬送システムの検討−，2018年度精密工学会春季大会学術講演会，中央大学，2018，P33
  26. 桃崎優太郎，儲博懐，小林夢輝，趙正，道畑正岐，高増潔，高橋哲: WGM共振を利用した微小球の直径計測−環境温度変化の影響−, 2018年度精密工学会学生会員卒業研究発表講演会，中央大学, 2018, N17
  27. 林晃平，林政洋，道畑正岐，高増潔，高橋哲: 光放射圧ポテンシャルによる局所化を用いた金属三次元微細構造創成−金属ナノ粒子局所化の確率解析−, 第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018, 19p-B203-8
  28. 松本弘一，高増潔: 緑色LED干渉計による大気ゆらぎの補正技術の検討, 第65回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集，早稲田大学, 2018, 19p-C303-3