タイトルイメージ 本文へジャンプ


論文・業績などのリスト

高増・高橋研究室およびトレーサビリティ計測工学寄付講座の2015年度の論文,業績のリストです.カテゴリー別の過去の論文なども左のリンクから参照できます.

最新年度(2015年度)論文リスト


2015年度高増 ・高橋研究室研究成果には,各論文が載っています.
必要な方は,メールで送付先をお教えください.メールアドレス:takamasu[at]pe.t.u-tokyo.ac.jp

学術論文および著書
  1. Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: Verification of the positioning accuracy of industrial coordinate measuring machine using optical-comb pulsed interferometer with a rough metal ball target, Precision Engineering 41, 2015, 63-67[PDF File]
  2. S. Takahashi, Y. Horita, F. Kaji, Y. Yamaguchi, M. Michihata, K. Takamasu: Concept for laser-assisted nano removal beyond the diffraction limit using photocatalyst nanoparticles, CIRP Annals - Manufacturing Technology 64, 2015, 201-204[PDF File]
  3. 工藤良太, 高橋哲, 高増潔:変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究(第3報)−コヒーレント結像逐次再構成型超解像法の原理−,精密工学会誌 81 (6),2015,562-569[PDF File]
  4. Meiyun Chen, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: Development of high-precision micro-roundness measuring machine using a high-sensitivity and compact multi-beam angle sensor, Precision Engineering 42, 2015, 276-282[PDF File]
  5. 工藤良太, 高橋哲, 高増潔:変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究(第4報)−コヒーレント結像逐次再構成型超解像法の実験的検証−,精密工学会誌 81 (7),2015,684-691[PDF File]
  6. Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu: Automatic Recording Absolute Length-Measuring System with Fast Optical-Comb Fiber Interferometer, International Journal of Automation Technology 9 (5), 2015, 482-486[PDF File]
  7. 堀田陽亮,吉越久倫,松田恵介,道畑正岐,高増潔,高橋哲:レーザー集光点近傍における光触媒反応を利用した三次元微細構造創製に関する研究,日本機械学会論文集81 (832),2015,15-309 1-13[PDF File]
  8. Kenji Maruno, Masaki Michihata, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya: Fundamental study on novel on-machine measurement method of cutting tool edge profile based on fluorescent confocal microscope, International Journal of Automation Technology 10 (1), 2016, 106-113[PDF File]
  9. Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: Non-contact measurement technique for dimensional metrology using optical comb, Measurement 78, 2016, 381-387[PDF File]
  10. Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: Diagonal in space of coordinate measuring machine verification using an optical-comb pulsed interferometer with a ball-lens target, Precision Engineering 43, 2016, 486-492[PDF File]

解説論文,講演など
  1. 高増潔:TEM およびCD-SEM 画像によるFinFET の形状測定,次世代リソグラフィワークショップ2015(NGL2015), 東京工業大学,2015,23-24
  2. 松本弘一:コモンパス干渉計=非線形光学干渉法とタンデム干渉法=,光アライアンス26 (10),2015,44-48
  3. 高増潔:図面どおり三次元をつくれるか? 幾何公差とメトロロジー,日本機械学会誌118 (1164),2015,656-659
  4. 高橋哲:光で見ること,測ることのギャップ,日本機械学会誌118 (1164),2015,664-667
  5. 高増潔:知的計測技術によるナノスケール三次元形状測定,精密測定展2015,精密測定セミナー,パシフィコ横浜,2015,67-70
  6. 高増潔:精密測定の基礎と三次元測定への応用:トレーサビリティと測定不確かさ適用技術,日本テクノセンター講習会,市ヶ谷,2015
  7. 高橋哲:超高分解能顕微技術,光センシング技術部会2015年度第2回講演会「光波を用いたセンシング技術、ナノからサブナノへ向かう光計測技術及び生体計測」,東京大学,2015
  8. 高橋哲:光計測,自動車技術会公開委員会「加工・計測技術の基本と最新技術」,自動車技術会,東京大学,2015
  9. 高橋哲:半導体製造におけるナノ欠陥の高分解能・高感度・光学的計測法,精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会第145回研究会「半導体基板洗浄技術と関連計測技術の最前線」,四ツ谷,2015
  10. Satoru Takahashi: Advanced optical inspection for engineering surface beyond the diffraction limit, The UT-NTU Conference at Tokyo 2015 "Emerging Technology Development of Material-Mechanics-Robotics",東京大学, 2015
  11. 池上孝則:陸連に評価はムリ! 私なら世界一「公平」なマラソン選考が出来る,産経デジタルhttp://ironna.jp/article/2983,2016

学術講演(国際会議)
  1. Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: Absolute precision measurement for space coordinates metrology using an optical-comb pulsed interferometer with a ball lens target, 15th euspen International Conference (euspen2015),Leuven, Belgium, 2015, 109-110
  2. Chen Meiyun, Genki Miyazaki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: Roundness measurement machine using multi-beam angle sensor - experimental verification of multi-beam angle sensor, 15th euspen International Conference (euspen2015), Leuven, Belgium, 2015, 125-126
  3. Jonggang Kim, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya: Experimental study on measurement the surface topography by laser trapping probe, 6th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2015), Harbin, China, 119 1-6
  4. Yosuke Horita, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: Fundamental study on fabrication of multi-functional micro device based on micro-beads using photocatalytic reaction, 6th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2015), Harbin, China, 120 1-4
  5. Satoru Takahashi: (Plenary Keynote) Challenge of Spatial Resolution Improvement of Optical Measurement Method Based on Localized Light Energy, 12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2015), Taipei, Taiwan, 2015, 9
  6. Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto: (Invited Paper) Non-contact precision profile measurement to rough surface objects with optical frequency combs, 12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2015), Taipei, Taiwan, 2015, 1079 1-5
  7. Hiromasa Kume, Hiroki Yokozeki, Ryota Kudo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: Super-Resolution Optical Measurement Method Using Standing Wave Illumination with Three-Beam Interference, 12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2015), Taipei, Taiwan, 2015, 1094 1-6
  8. Yumi Iwago, Tomohiko Takamura, Yohan Kondo, Youichi Bitou, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: Self Calibration Method for Nanometer Profile Measurement on Large Aspheric Optical Surface, 12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2015), Taipei, Taiwan, 2015, 1097 1-6
  9. Akifumi Kawasaki, Masaki Michihata, Atsushi Adachi, Yasuhiro Takaya: Accurate diameter measurement of microsphere based on analysis for polarization of whipering gallery mode resonance, 12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2015), Taipei, Taiwan, 2015, 1140 1-6
  10. Kazuki Tachibana, Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: High-sensitive optical measurement of fine particulate defects on Si wafer surface with liquid probe, 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), Kyoto Research Park, Kyoto, 2015
  11. Yuki Suzuki, Hiroyuki Tahara, Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: Improvement of lateral shape controlling with nitrogen purge for nano-stereolithography using evanescent light, 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), Kyoto Research Park, Kyoto, 2015
  12. Masafumi Asahi, Masaki Michihata, Yasuhiro Takaya: Analysis of chemical reaction in Cu-CMP with reactive nanoparticles based on Raman spectra enhanced by surface plasmon, 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), Kyoto Research Park, Kyoto, 2015
  13. Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Sinichi Ueda: Optically trapped microprobe for nano-profile measurement based on interpolation method of standing wave scale using chromatic confocal system, IMEKO XXI world congress, Prague, Czech, 2015
  14. Masaki Michihata, Akifumi Kawasaki, Atsushi Adachi, Yasuhiro Takaya: Measurement of micro-sphere diameter based on whispering gallery mode, IMEKO XXI world congress, Prague, Czech, 2015
  15. Kenji Maruno, Masaki Michihata, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya: On-machine measurement of cutting tool edge profile by detecting fluorescence from cutting fluid, International Symposium on Optomechatronic Technologies (ISOT2015), Neuchatel, Switzerland, 2015, 03003 p1-p5
  16. Kiyoshi Takamasu, Yuuki Iwaki, Satoru Takahashi, Hiroki Kawada, Masami Ikota, Gian F. Lorusso, Naoto Horiguchi: 3D-Profile Measurement of Advanced Semiconductor Features by Reference Metrology, SPIE Advanced Lithography 2016, San Jose, USA, 2016, 9778 1-4

学術講演(国内会議)
  1. 岩郷 佑美,高村 智彦,高橋 哲,高増 潔,近藤 余範,尾藤 洋一:大型非球面形状のナノメートル測定,第16回高エネ研メカ・ワークショップ報告集,筑波,2015,41-44
  2. Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: Temporal-Coherence Interferometer Using Optical Comb for CMM Verification - Pulsed interferometer with a rough metal ball target -,第16回高エネ研メカ・ワークショップ報告集,筑波,2015,45-49
  3. 久米大将,金成碩,道畑正岐,高増潔,高橋哲:定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第20報)−ガウシアンフィルタを用いた点像分布関数制御の基礎的検討−, 2015年度精密工学会秋大会学術講演会, 東北大学, 2015, B34
  4. 大西徹,高増潔:現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究−低熱膨張ブロックゲージの寸法の違いを用いた温度補正の評価−, 2015年度精密工学会秋大会学術講演会, 東北大学, 2015, B38
  5. 尾上太郎,高橋哲,高増潔,松本弘一:非接触精密光コム距離測定技術の開発(第9報)−粗面物体に対する計測精度の評価−, 2015年度精密工学会秋大会学術講演会, 東北大学, 2015, B44
  6. 岩郷佑美,高村智彦,高橋哲,高増潔,近藤余範,尾藤洋一:大型非球面形状のナノメートル測定(第13報)−オートコリメータの評価−, 2015年度精密工学会秋大会学術講演会, 東北大学, 2015, B62
  7. Chen Meiyun, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: Precision flatness measurement by an optical multi-beam angle sensor (1st Report) - Experimental Verification of flatness measurement -, 2015年度精密工学会秋大会学術講演会, 東北大学, 2015, B64
  8. 丸野兼治,道畑正岐,水谷康弘,高谷裕浩:蛍光共焦点法による工具刃先形状の機上計測に関する研究(第1報)−水平面における切削液の油膜の基礎検討−, 2015年度精密工学会秋大会学術講演会, 東北大学, 2015, B66
  9. Wiroj Sudatham,Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto: Temporal-Coherence Interferometer Using Optical Comb for CMM Verification (3rd Report) - CMM diagonal measurements -, 2015年度精密工学会秋大会学術講演会, 東北大学, 2015, B67
  10. 岩城祐輝,高橋哲,高増潔:半導体構造の形状評価の研究(第1報)−TEM及びCD-SEM画像によるFinFET形状の測定−, 2015年度精密工学会秋大会学術講演会, 東北大学, 2015, B69
  11. 上野原努,高谷裕浩,水谷康弘,道畑正岐:フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究(第1報)−ビームの位置制御技術の検討−, 2015年度精密工学会秋大会学術講演会, 東北大学, 2015, G06
  12. 堀田陽亮,儲博懐,道畑正岐,高増潔,高橋哲:全方位姿勢制御型光触媒ナノ加工工具に関する研究−姿勢制御ユニット創製に関する実験的検討−, 2015年度精密工学会秋大会学術講演会, 東北大学, 2015, G08
  13. 鈴木裕貴,鈴木邦和,道畑正岐,高増潔,高橋哲:エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究(第23報)−3光束干渉エバネッセント波造形の検討−, 2015年度精密工学会秋大会学術講演会, 東北大学, 2015, I68
  14. 金成碩,久米大将,横関宏樹,高橋哲,高増潔:スポット重複移動情報を用いた光学式超解像検査法の開発,日本機械学会2015年度年次大会,北海道大学,2015,S1320103
  15. 橘一輝,高橋哲,高増潔:光学的ナノ異物検出を可能とする高感度液相プローブ計測法の研究,日本機械学会2015年度年次大会,北海道大学,2015,S1320104
  16. 松本弘一,高増潔:エタロンを用いたブロード光干渉による絶対測距/測長技術,第56 回光波センシング技術研究会講演会講演論文集,東京理科大学,2015,107-112
  17. 橘一輝,浅井祥平,道畑正岐,高増潔,高橋哲:自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究(第2報)−FDTDシミュレーションに基づいた光学的検出特性解析−, 2016年度精密工学会春大会学術講演会, 東京理科大学, 2016, A01
  18. 金成碩,道畑正岐,高増潔,高橋哲:サブ回折限界微小開口の非破壊光学式深さ計測法−FDTD法を用いた光学応答の理論解析−, 2016年度精密工学会春大会学術講演会, 東京理科大学, 2016, A13
  19. 丸野兼治,道畑正岐,水谷康弘,高谷裕浩:蛍光共焦点法による工具刃先形状の機上計測に関する研究(第2報)−切削液からの蛍光の共焦点検出−, 2016年度精密工学会春大会学術講演会, 東京理科大学, 2016, A14
  20. 岩城祐輝,高橋哲,高増潔:半導体構造の形状評価の研究(第2報)−TEM及びCD-SEM画像によるFinFET形状の測定−, 2016年度精密工学会春大会学術講演会, 東京理科大学, 2016, A16
  21. 川嵜彬史,道畑正岐,高谷裕浩,水谷康弘:WGM共振を利用した微小球の直径計測(第5報)−光ファイバによるWGM励起の最適化−, 2016年度精密工学会春大会学術講演会, 東京理科大学, 2016, A31
  22. 山口悠希,道畑正岐,水谷康弘,高谷裕浩:光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究(第3報)−レーザ捕捉微小球レンズの試料面近傍における位置制御−, 2016年度精密工学会春大会学術講演会, 東京理科大学, 2016, A33
  23. Chen Meiyun, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: Precision flatness measurement by an optical multi-beam angle sensor (2nd Report) - Calibration of the sensor and cylindrical surface measurement -, 2016年度精密工学会春大会学術講演会, 東京理科大学, 2016, A39
  24. 木村文紀,尾上太郎,高橋哲,高増潔,松本弘一:非接触精密光コム距離測定技術の開発(第10報)−複数周波数を用いた絶対計測手法−, 2016年度精密工学会春大会学術講演会, 東京理科大学, 2016, A61
  25. 金鐘剛,道畑正岐,高谷裕浩,水谷康弘:光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究(第2報)−レーザトラッピングされたマイクロ球によるイメージング−, 2016年度精密工学会春大会学術講演会, 東京理科大学, 2016, A63
  26. 松本弘一,高増潔:ブロード光干渉を利用したノンミラー型絶対測長技術, 2016年度精密工学会春大会学術講演会, 東京理科大学, 2016, A67
  27. 浅井祥平,橘一輝,道畑正岐,高増潔,高橋哲:自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究(第3報)−基板上液相プローブの挙動に関する解析−, 2016年度精密工学会春大会学術講演会, 東京理科大学, 2016, C34
  28. 堀田陽亮,儲博懐,増井周造,道畑正岐,高増潔,高橋哲:全方位姿勢制御型光触媒ナノ加工工具に関する研究(第2報)−液相内における工具創製の実験的検討−, 2016年度精密工学会春大会学術講演会, 東京理科大学, 2016, D63
  29. 鈴木裕貴,鈴木邦和,道畑正岐,高増潔,高橋哲:エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究(第24報)−多光束干渉エバネッセント波による微細複雑パターン造形−, 2016年度精密工学会春大会学術講演会, 東京理科大学, 2016, D64
  30. Winarno Agustinus,Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Takao Kitayama, Ryota Kudo, Katsuyoshi Endo: Non-contact absolute internal distance measurement between two mirrors by using a low-coherence tandem interferometer with optical prism mechanism (1st Report) - Measurement principle and preliminary experiment -, 2016年度精密工学会春大会学術講演会, 東京理科大学, 2016, T34
  31. 増井周造,堀田陽亮,道畑正岐,高増潔,高橋哲:光触媒ナノ加工工具に関する基礎的研究(第9報)−ナノ粒子位置同定法の検討−, 2016年度精密工学会春大会学術講演会, 東京理科大学, 2016, T61
  32. 儲博懐,堀田陽亮,増井周造,道畑正岐,高増潔,高橋哲:光触媒ナノ工具に関する基礎的研究(第10報)−銀担持による工具チップ性能の向上−, 2016年度精密工学会春大会学術講演会, 東京理科大学, 2016, T62
  33. 鈴木邦和,鈴木裕貴,道畑正岐,高橋哲,高増潔:一括面露光型マイクロ光造形法による表面機能構造創製に関する研究, 2016年度精密工学会春大会学術講演会, 東京理科大学, 2016, T64