| 研究テーマ |
背景，目的など |
|
ソフトウェアの誤差伝播を利用したCMMの不確かさ推定
Estimation of Uncertainty of CMM by Software Error Propagatio |
三次元計測では，三次元測定機本体の不確かさ以外にも，測定対象，測定環境，測定戦略などの影響により，不確かさが変わるため，不確かさを正確に推定することが難しい．ソフトウェアの誤差伝播による不確かさ推定本研究では，種々の条件における不確かさを推定する手法を研究する．
|
|
ＳＴＥＭ画像による半導体線幅の測定
The Measurement of the Critical Dimension (line width) by the STEM Images |
本研究では，STEM (Scanning Transmission Electron Microscopes)画像を解析することで線幅の絶対的な長さを測定し，同時に測定における不確かさを評価する．さらに，不確かさを1nm以下に抑えることを目標に，不確かさの向上とその方法の検討を目的としている． |
|
光周波数コムレーザを利用した絶対距離計測に関する研究
Study on Absolute Distance Measurement Using Optical Frequency Comb
|
単一な周波数のみを発生させる従来のレーザに比べて，多数の周波数を同時に発生させる光周波数コムレーザに着目し，光周波数コムレーザを用いた精密な計測手法の確立を目指す．
|
|
メカノオプトプローブを用いた薄膜表面形状の広範囲計測
Profile Measurement for Wide‐Area Thin Film Surface Using Mechano‐Opto‐Probe |
広い範囲のレジスト薄膜表面形状を高速，高精度に計測する方法として，光計測と機械的接触を組み合わせた，メカノオプトプローブによる新しい計測手法の確立を目指している． |
|
定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査
Super‐Resolution Optical Inspection for Semiconductor Defects Using Standing Wave Shift |
高い解像力を持つ光学式半導体欠陥検査技術の開発にあたって，PZTを用いて定在波をシフトさせ，散乱光変調情報を含む複数画像を取得し，計算機による後処理を加えることで，レイリー限界を超えた解像を行う方法を開発する． |
|
近接場光を利用したナノインプリント残膜厚測定法に関する研究
Study on Thin‐Film Thickness Measurement for Nano‐Imprint by using Near‐Field Optics |
近接場光を利用した，ナノインプリント時に生じる残膜厚測定法の確立を目指す．現在は，更なる高分解能化に向けた，金属プローブを用いた散乱検出法の検討を行っている． |
|
循環器信号処理による自律神経活動評価に関する研究
Study on estimation of automatic nervous activity by cardiovascular signals |
自律神経活動と関連が深い循環器信号の解析によって，自律神経活動を推定する手法が提案されているが，本研究では，呼吸位相に着目し，評価精度が高く，実環境に適用可能な自律神経活動評価手法の確立を目指す． |
|
定在エバネッセント光を用いた超解像光学顕微法に関する研究
A Study of Super‐Resolution Microscopy with Standing Evanescent Light |
定在エバネッセント光照明分布を空間的にシフトさせることにより得られた複数枚の画像から像を復元する新しい全反射顕微法を提案した[1]．基礎実験装置を構築し，提案手法の解像原理の基礎的検証を行った． |
|
自動車製造プロセスにおけるリモート溶接用スキャナの開発
Development of scanner head for LASER welding in automobile production process |
自動車製造プロセスにおいて部品溶接時間を飛躍的に短縮する手法として，レーザスキャナの原理に着目し，加工特性・制御手法といった複数の観点から，走査エリアの大型化，およびロボットと協調可能な自動車生産用溶接スキャナの開発を行う．
|
|
歯車車輪式平面移動機構の開発
Development of Gear Wheel of Planar Linear Motor System |
作業者に手を差し伸べるシステムである ”AWB (Attentive Workbench)” が提唱されている．我々はAWBの移動トレイシステムとして，歯車車輪式移動機構を提案する．
|
|
エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究
Study on nano‐stereolithography using evanescent light |
生産性の高い一括面露光型マイクロ光造形法に着目し，エバネッセント光を露光エネルギーとして適用する新しいマイクロ光造形法（ナノ光造形法）の確立を目指す．
|
|
光触媒ナノ粒子による金属マイクロ構造の新創成法
Novel Microfabrication Technique for Three‐Dimensional Metal Structures by
Photocatalysis Nanoparticles |
光触媒と金属イオンの混合液中において集光レーザを走査することで数十μmスケールの金属を含むマイクロ三次元複雑構造体を直接創成できる手法の確立を目指す． |
 |
