2007年度版　研究概要：知的ナノ計測分野

研究テーマ	背景，目的など
3D Displacement Measurement Using Ring-beam リングビームを用いた三次元変位測定	高精度で柔軟な三次元変位（位置）測定は，複雑な三次元機構の校正に重要である．リングビームを用いて，三次元変位をナノメートル分解能で測定するシステムを開発する．
Study on Algorithm of Reconstructing Topography Based on Topography Difference 差分測定を利用した形状復元アルゴリズムの研究	差分測定を利用した形状復元アルゴリズムとして2種類の手法を研究している． ・空間周波数法 (SFR) ・連立方程式法 (EQU) 測定手法：2個のプローブを利用してプローブ間隔D1 とD2 で2度のスキャン測定を行う．得られた2組の差分測定から形状を復元する．
Profile Measurement for Wide-Area Soft Thin Film Surface Using Mechano-opto-probe メカノオプトプローブを利用した広範囲薄膜形状の測定	ナノメートル分解能で広い範囲（例えば直径300mm）の薄膜（レジスト表面）の三次元形状を測定するために，メカノオプトプローブ（機械的接触と光学的測定を組み合わせたプローブ）を利用した新しい計測手法を開発する．
Super-resolution Optical Inspection for Semiconductor Defect by using Standing Wave Illumination Shift 定在照明のシフトを利用した超解像半導体欠陥検査	レイリー限界（回折限界）を超えた超解像光学計測手法により半導体欠陥検査手法を開発する． - 高分解能 100nm 以下 - 欠陥検査のための高感度 - 高スループット - 非破壊検査
A Study of Super-resolution Microscopywith Standing Evanescent Light 定在エバネッセント光による超解像顕微法の研究	回折限界を超えたナノメートル分解能を持つ，定在エバネッセント光を用いた超解像顕微法を開発する．
Measurement of Thin Film Thickness for Nano-Imprint Lithography Based on Near-Field Optics 近接場光学を用いたナノインプリントのための膜厚測定	100 nm 以下の残膜の膜厚測定は，次世代の半導体露光技術であるナノインプリントリソグラフィの実現において重要な役割を持つ．近接場光学を利用した薄膜の膜厚測定手法の開発を行う．
Study on Calibration of Planar Motor - Straightness and Squareness measurement of plane mirrors 平面モータの校正−真直度と直角度の計測	平面モータのための新しい校正手法として，走査法を利用した自己校正手法による真直度と直角度の計測手法を開発した．この方法を利用することで，使用者が現場で平面モータの校正を行うことが可能となる．
Development of Gear Wheel type of Planar Linear Motor System 歯車車輪式平面リニアモータシステムの開発	作業者を支援するワークベンチシステム（AWB）における平面リニアモータとして，歯車車輪式平面リニアモータを開発する．このシステムは無線化可能で，平面をオープンループで移動できる．
Nano-stereolithography using evanescent light エバネッセント光を用いたナノ光造形法の研究１	三次元，マイクロメートル，高スループットという特徴を持つ光造形と，光子が100nm領域に局在するエバネッセント光を組み合せることで，三次元，サブマイクロメートル，高スループットであるナノ光造形法が開発できる．
Nano-stereolithography using evanescent light エバネッセント光を用いたナノ光造形法の研究２	三次元，マイクロメートル，高スループットという特徴を持つ光造形と，光子が100nm領域に局在するエバネッセント光を組み合せることで，三次元，サブマイクロメートル，高スループットであるナノ光造形法が開発できる．
A Novel Microfabrication Technique for Three-Dimensional Metal Structures by Photocatalysis 光触媒による三次元金属微細構造創成に関する研究	数十マイクロメートルのスケールを持つ，複雑な三次元金属微細構造を創成するための新しい手法として，光触媒を利用した手法を開発する．
Real-time Extraction of Respiratory Sinus Arrhythmia for Application into Actual Environment 実環境における実時間RSA検出手法の研究	呼吸性洞性不整脈（RSA）を実環境において，実時間で高精度に検出できる手法を開発する．