Takamasu - Takahashi Lab 高増・高橋研究室 東京大学大学院工学系研究科精密機械工学専攻 知的ナノ計測分野 本文へジャンプ


知的ナノ計測専門委員会

トレーサビリティ 計測工学寄付講座

競輪・オートレース補助事業ホぅムペぅジ「RING!RING!プロジェクト」バナぅ44x149

東京大学大学院
工学系研究科
精密工学専攻


東京大学工学部
精密工学科


研究室 内部連絡ページ



English Page   English Page



  

高増・高橋研究室 最新情報
  • 論文リストを更新しました.(2016年8月)
  • メンバーを更新しました.(2016年8月)
  • 精密工学科卒業論文賞:増井周造が,精密工学科卒業論文賞を受賞しました(2016年3月).

  • 精密工学会研究奨励賞:工藤良太が,精密工学会研究奨励賞を受賞しました.対象となった論文は,工藤良太, 高橋哲, 高増潔:変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究(第4報)−コヒーレント結像逐次再構成型超解像法の実験的検証−,精密工学会誌 81 (7),2015,684-691です(2016年3月).

  • 優秀講演論文表彰(日本機械学会生産加工・工作機械部門):橘一輝の発表した論文がLEM21 (The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21th Century, 京都) で優秀講演論文表彰を受賞しました.対象となった論文は,Kazuki Tachibana, Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: High-sensitive optical measurement of fine particulate defects on Si wafer surface with liquid probeです.(2015年10月)

  • メンバーを更新しました.(2015年5月)
  • RINGRING!プロジェクトのリンクを追加しました.(2015年5月)
  • メンバーを更新しました.(2014年7月)
  • 論文リストを更新しました.(2014年7月)
  • 高橋教授が東京大学先端科学技術研究センターへ異動しました.先端研の高橋研究室のホームページは,http://www.photon.rcast.u-tokyo.ac.jp/index.htmlです.引き続き,協力した研究体制を取っていく予定です.(2014年4月)
  • Co-Editor-in-Chief: International Journal of Precision Engineering and Manufacturing:高増が,KSPE(Korean Society for Precision Engineering,韓国精密工学会)の欧文誌IJPEMのCo-Editor-in-Chiefに就任しました.(2014年4月)
     
  • 日本機械学会生産加工・工作機械部門 優秀講演論文表彰:工藤が,日本機械学会生産加工・工作機械部門の優秀講演論文表彰を受賞しました.対象論文は,LEM21で発表したRyota Kudo, Hiroki Yokozeki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: Coherent Imaging Algorithm of Super-Resolution Optical Inspection with Structured Light Shiftです.(2013年11月)

  • ASPEN2013:ASPEN2013(2013年11月12日〜11月15日,台北,台湾)に高増,高橋,尾上,沖藤,山口,卒業生の韋冬(長岡科技大)が参加し,以下の5件の発表を行いました.高増,高橋は,Local Organizing Committeeとして運営に参加しました.また,高増はBoard Member,International Program CommitteeのCo-chairsなど多くの仕事を行いました.(2013年11月)


  • ASPE2013:ASPE2013(2013年10月20日〜10月25日,セントポール,米国)に高橋,宮川が参加しました.シングルセッションのASPEで,宮川はオーラル講演に選ばれました.(2013年10月)

  • 北京理工大学:高増,高橋が北京理工大学を訪問しました(2013年9月23日〜9月25日).卒業生で北京理工大学の肖木崢先生がアレンジして,北京理工大学では高増,高橋が講演を行い,張先生と研究打ち合わせを行いました.(2013年9月)

  • ISMTII2013:ISMTII2013(アーヘン,ドイツ,2013年7月1日〜7月5日)に高増,高橋,石川,横関が参加しました.高増はSteering Committee,高橋はProgram Committeeメンバーとして運営に参加しました.(2013年7月)

  • 研究室合宿:6月22日,23日に研究室合宿を箱根で行いました.(2013年6月)

  • 2013年6月16日付で,高橋が教授に昇任しました.(2013年6月)
  • 2012年度高増 ・高橋研究室,トレーサビリティ計測工学寄付講座研究成果 (Takamasu-Takahashi Lab, Traceability Measurement Engineering Lab 2012 Annual Report) が完成しました.必要な方はご連絡ください.(takamasu[at]pe.t.u-tokyo.ac.jp)(2013年6月)

  • euspen 2013:euspen2013(ベルリン,ドイツ,2013年5月28日〜5月30日)に高橋,吉越が参加しポスター講演を行いました.(2013年5月)

  • 上海交通大学客座教授:高増が,上海交通大学客座教授(2012年6月〜2015年6月)に就任しました.(2013年4月)

  • 合肥工業大学,上海交通大学:高増が合肥工業大学および上海交通大学を訪問しました(2013年4月3日〜4月7日).卒業生で上海交通大学の陳欣先生がアレンジして,合肥工業大学を訪問し,講演を行い,費先生と研究打ち合わせを行いました.高増は,上海交通大学の客座教授(Guest Professor)になりました.また,上海交通大学の趙先生と研究打ち合わせを行いました.(2013年4月)


     
  • メンバーを更新しました.(2013年6月)
  • 論文リストを更新しました.(2013年6月)
  • トレーサビリティ計測工学寄付講座は,多くの成果をあげ2013年3月31日に終了いたしました.(2013年4月)
  • Measurement Science and Technology Highlights of 2012:Measurement Science and Technology誌に発表した論文が,2012年のHighlights collectionsに掲載されました.掲載された論文は,Agustinus Winarno, Satoru Takahashi, Akiko Hirai, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto: "Absolute measurement of gauge block without wringing using tandem low-coherence interferometry," Meas. Sci. Technol. 23, 2012, 125001 1-8です.(2013年4月)
     Measurement Science and Technology誌のHighlights collections
  • 2013年度春季大会 ベストプレゼンテーション賞:沖藤が2013年度精密工学会春季大会でベストプレゼンテーション賞を受賞しました.受賞対象となった発表は,沖藤春樹,高橋哲,高増潔:「半導体の線幅標準に関する研究(第10報)−AFM及びSTEMによるレジスト形状測定−」です.(2013年3月)

  • 精密工学会フェロー:精密工学分野における学術活動,実用化技術開発,および学会の発展に業績を示した会員として,高増が精密工学会フェローに認定されました.(2013年3月)

  • ICPE2012:ICPE2012(2012年11月8日〜11月10日,淡路夢舞台)に高増,松本,高橋,関野,尾上,沖藤が参加し,以下の4件の発表を行いました.高増,高橋は,Local Organizing Committeeとして運営に参加しました.(2012年11月)
  • 砥粒加工学会 優秀講演賞:2012年度砥粒加工学会学術講演会での発表に対して,工藤が優秀講演賞を受賞しました.対象の発表は,工藤良太,高橋哲,高増潔:「半導体ベアウエハ表面ナノ欠陥の超解像光学式計測に関する研究」です.(2012年11月)

  • IMEKO2012:IMEKOのWorld Congress(釜山,韓国,2012年9月10日〜9月15日)に高増,松本,韋,肖,工藤,Narinが参加しました.合計6本の論文を発表しました. (2012年9月)
     
     
  • euspen 2012:euspen2012(ストックホルム,スウェーデン,2012年6月4日〜6月7日)に高増,韋,肖,王が参加しポスター講演を行いました.高増研究室で外国人研究員をしていたOlea氏,高増研究室の出身で静岡大学の臼杵先生も参加していました. (2012年6月)
     
     
  • 2011年度高増 ・高橋研究室,トレーサビリティ計測工学寄付講座研究成果 (Takamasu-Takahashi Lab, Traceability Measurement Engineering Lab 2011 Annual Report) が完成しました.必要な方はご連絡ください.(takamasu[at]pe.t.u-tokyo.ac.jp)(2012年6月)

  • メンバーを更新しました.(2012年6月)
  • 論文リストを更新しました.(2012年6月)
  • 2012年度春季大会 ベストプレゼンテーション賞:尾上が2012年度精密工学会春季大会でベストプレゼンテーション賞を受賞しました.受賞対象となった発表は,尾上太郎,高橋哲,高増潔,松本弘一:「非接触精密光コム距離測定技術の開発(第2報)−2台の光コムと周波数シンセサイザを用いた測距−」です.(2012年3月)

  • 平成23年度 コニカミノルタ画像科学奨励賞(進歩賞):韋が,コニカミノルタ科学技術振興財団のコニカミノルタ画像科学奨励賞(進歩賞)を受賞しました.受賞対象は,「逐次探索による深さ方向計測法の開発」です.(2012年3月)

  • トロント大学(2011年5月〜2012年3月):高橋は,特定国派遣事業によりカナダ,トロント大学に10ヶ月間の長期滞在(2011年5月9日〜2012年2月29日)をしました.(2012年3月)
  • 工学部長賞(学修):宮川幸大が学部の学業に対して,工学部長賞を受賞しました.(2012年3月)

  • 工学研究科長賞(研究):楊平が博士課程の研究業績に対して,工学研究科長賞を受賞しました.(2012年3月)

  • 精密工学会沼田記念論文賞(精密工学会):Precision Engineering誌の発表に対して,沼田記念論文賞が贈られました.対象論文 Ping Yang, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji: Multi-probe scanning system comprising three laser interferometers and one autocollimator for measuring flat bar mirror profile with nanometer accuracy

  • ASPEN2011(香港,2011年11月15日〜18日)に,高増,韋が参加しました.(2011年11月)
  • ASPEN2011 Best Paper Award (ASPEN2011): ISMTIIの発表に対して,Best Paper Awardが贈られました.対象論文:D. Wei, N. Wu, K. Takamasu, H. Matsumoto: Remote Internal Diameter Measurement of Ring Gauge based on a Low-coherence Tandem Scheme(2011年11月)

  • 計量制度の運営の貢献の表彰(経済産業省):松本弘一が計量制度の運営に対する貢献で,表彰されました.(2011年11月)

  • 米国光学会(OSA)が主催する会議(サンノゼ,米国,2011年10月16日〜10月20日)に,松本,韋,王が参加し口頭発表を行いました.(2011年10月)
  • GMSIの主催するMetrology Workshop(2011年9月25日〜29日)を中国のアモイ大学および北京理工大学で開催しました.このワークショップは,韋が中心となり企画し,研究室からも高増,韋,肖,楊,重城が参加しました.(2011年9月)
  • 2010年度高増 ・高橋研究室,トレーサビリティ計測工学寄付講座研究成果 (Takamasu-Takahashi Lab, Traceability Measurement Engineering Lab 2010 Annual Report)が完成しました.必要な方はご連絡ください.(takamasu[at]pe.t.u-tokyo.ac.jp)(2011年7月)

  • 論文・業績を更新しました.(2011年7月)
  • 独創性を拓く先端技術大賞(文部科学大臣賞,日本工業新聞社):韋冬の研究論文に対して,独創性を拓く先端技術大賞(文部科学大臣賞)が贈られました.対象研究 フェムト秒光周波数コムの時間コヒーレンス特性を用いた新長さ計測法の提案 〜次世代長さトレーサビリティーネットワークの実現に向けて〜(2011年7月)

  • ISMTII2011(大田,韓国,2011年6月29日〜7月2日)に高増,松本,工藤,ナリン,王,高村が参加しました.(2011年6月)
  • メンバーを更新しました.(2011年6月)
  • 6月11日,12日に研究室合宿を伊豆高原で行いました.(2011年6月)

  • euspen2011(コモ,イタリア,2011年5月23日〜5月26日)に高増,楊平,肖木崢が参加しポスター講演を行いました.(2011年5月)
  • 笹川科学研究奨励賞(日本科学協会):韋冬の研究成果に対して,笹川化学研究奨励賞が贈られました.対象研究:フェムト秒光周波数コムを用いた先端応用計測技術の開発(2011年4月)
    賞状
  • 工学系研究科長賞(研究)を韋冬が博士課程の研究業績に対して受賞しました.(2011年3月)

    賞状,メダル,韋冬(左),高増
  • 精密工学科最優秀卒論賞,大嶋崇良が卒業論文に対して贈られました.(2011年3月)

    賞状,高増,大嶋崇良(右)
  • Most Outstanding Project Execution,楊平がGMSIでのPBL Projectのメンバーの一員として受賞しました.(2011年3月)
  • Best Poster Presentation, 3rd GMSI International Symposium, 楊平のポスター発表に対して贈られました.対象発表は,「Multi-probe scanning system comprising three laser interferometers and one sutocollimator for measuring multiple motion errors of X-Y table in micro-coordinate measuring machine」です.(2011年3月)





高増・高橋研究室の担当分野:知的ナノ計測
高増・高橋研究室は,東京大学工学系研究科精密機械工学専攻の研究室で,精密計測の分野を担当しています.これからの精密計測に対して種々の方向を考えた新しい展開を目指しています.

研究室の紹介(精密工学会誌2004年11月)

研究の基本となるキーワードは,以下の7つです.
  • 精密測定:精密計測の基礎的な解析
  • ナノメートル計測:ナノテクノロジーにおける計測技術,ナノメートル三次元測定機
  • 三次元座標測定機:三次元測定機,CMM (Coordinate Measuring Machine) における計測技術
  • 測定の不確かさの評価:Uncertainty of Measurement
  • 三次元機構の校正:パラレルメカニズム,パラレル三次元測定機
  • 先端計測技術:光計測,生体計測,人体計測
  • 近接場利用超精密計測,加工


精密計測技術の新しい展開


研究の概要
研究としては,以下のようなことを行っています.
研究内容については,こちらを参照して下さい.
  • リングビームを用いた三次元変位測定
  • 差分測定を利用した形状復元アルゴリズムの研究
  • メカノオプトプローブを利用した広範囲薄膜形状の測定
  • 定在照明のシフトを利用した超解像半導体欠陥検査
  • 定在エバネッセント光による超解像顕微法の研究
  • 近接場光学を用いたナノインプリントのための膜厚測定
  • 平面モータの校正−真直度と直角度の計測
  • 歯車車輪式平面リニアモータシステムの開発
  • エバネッセント光を用いたナノ光造形法の研究
  • 光触媒による三次元金属微細構造創成に関する研究
  • 実環境における実時間RSA検出手法の研究
  • nano-CMM(ナノメートル分解能三次元座標測定機)の開発
  • 論文リスト



連絡先情報
  • 電子メール:takamasu[at]pe.t.u-tokyo.ac.jp ([at]を@に置き換えて下さい.)
  • 電話番号: 03-5841-6450  FAX番号: 03-5841-8554
  • 住所:
    〒113-8656 東京都文京区本郷7-3-1
    東京大学大学院工学系研究科 精密機械工学専攻 高増潔
  • 場所:本郷キャンパス工学部14号館9階931室
    本郷キャンパス 工学部14号館9階


2004年9月 安田講堂前