Takamasu - Takahashi Lab 高増・高橋研究室 東京大学大学院工学系研究科精密機械工学専攻 知的ナノ計測分野 本文へジャンプ


知的ナノ計測専門委員会

トレーサビリティ 計測工学寄付講座


東京大学大学院
工学系研究科
精密機械工学専攻


東京大学工学部
精密工学科


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高増・高橋研究室 最新情報
  • 2010年度高増 ・高橋研究室,トレーサビリティ計測工学寄付講座研究成果(Takamasu-Takahashi Lab, Traceability Measurement Engineering Lab 2010 Annual Report)が完成しました.必要な方はご連絡ください.(takamasu[at]pe.t.u-tokyo.ac.jp)(2011年7月)

  • 論文・業績を更新しました.(2011年7月)
  • メンバーを更新しました.(2011年6月)
  • 6月11日,12日に研究室合宿を伊豆高原で行いました.(2011年6月)

  • 工学系研究科長賞(研究)を韋冬が博士課程の研究業績に対して受賞しました.(2011年3月)

    賞状,メダル,韋冬(左),高増
  • 精密工学科最優秀卒論賞,大嶋崇良が卒業論文に対して贈られました.(2011年3月)

    賞状,高増,大嶋崇良(右)
  • Most Outstanding Project Execution,楊平がGMSIでのPBL Projectのメンバーの一員として受賞しました.(2011年3月)
  • Best Poster Presentation, 3rd GMSI International Symposium, 楊平のポスター発表に対して贈られました.対象発表は,「Multi-probe scanning system comprising three laser interferometers and one sutocollimator for measuring multiple motion errors of X-Y table in micro-coordinate measuring machine」です.(2011年3月)

  • ASPE2010(アトランタ,米国,2010年10月31日〜11月4日)に高橋が参加しました.(2010年11月)
  • 精密工学会2010年度秋季大会(名古屋大学,2010年9月27日〜29日)で,池田および高村が,ベストポスタープレゼンテーション賞を受賞しました.対象発表は,「池田裕一,高橋哲,高増潔,近接場光を用いたナノインプリント残膜厚測定法に関する研究(第7報)−細線間における残膜厚計測の実験的検討−」および「高村智彦,楊平,高増潔,高橋哲,佐藤理,大澤尊光,高辻利之,高精度CMMの開発(第3報)−3点法による参照面形状とステージの運動学誤差の評価−」です.(2010年9月)

  • ISMQC2010(大阪大学,2010年9月6日〜9日)に,高増,高橋,松本,韋,工藤,楊,肖,栗原が参加しました.この国際会議は,知的ナノ計測専門委員会が主催したものです.高増潔はPlenary Lectureを行いました.この会議で韋が,Outstanding Paper Awardを受賞しました.対象論文は,「Dong Wei, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto, Advanced Absolute Length Metrology Based On Pulse Trains' Constructive Interference - Measurements of Meter Order with an Accuracy of Nano Order -」です.(2010年9月)

  • CIRP Annual Meeting 2010(イタリア,ピサ,2010年8月)に高橋が参加しました.(2010年8月)
  • 論文・業績に2009年度分を追加しました.(2010年8月)
  • 2009年度高増 ・高橋研究室,トレーサビリティ計測工学寄付講座研究成果(Takamasu-Takahashi Lab, Traceability Measurement Engineering Lab 2009 Annual Report)が完成しました.必要な方はご連絡ください.(takamasu[at]pe.t.u-tokyo.ac.jp)(2010年8月)

  • ICoPE2010, 13th ICPE(シンガポール,2010年7月28日〜7月30日)に高増,肖,楊が参加しました.高増は招待講演で,肖および楊は計測のセッションで発表を行いました.(2010年7月)
  • 型技術協会より,2009年12月の型技術ワークショップでの発表に対して,奨励賞が送られました.対象発表は,「池田裕一,長尾天平,高橋哲,高増潔:近接場光学に基づいたナノインプリント加工薄膜の精密膜厚計測に関する研究」です.(2010年6月)

  • euspen2010(デルフト,オランダ,2010年6月1日〜6月3日)に高増,Agustinusが参加しポスター講演を行いました.外国人研究員をしていた Olea氏も参加していました.(2010年6月)
  • グローバルCOE「機械システム・イノベーション国際拠点」が開催した2nd GMSI International Symposiumで韋が,Best Poster Presentationを受賞しました.対象発表は,「Femtosecond optical frequency comb's temporal coherence characteristic-based interferometers」です.

  • グローバルCOE「機械システム・イノベーション国際拠点」 から,韋が優秀履修生として表彰されました.これは,2009年度のグローバルCOEの活動への積極的な参加および優秀な研究業績に対して送られたものです.(2010年4月)

  • 精密工学会2010年度春季大会で,高橋が精密工学会特別貢献賞を受賞しました.これは,高橋哲,妻屋彰,金子順一,割澤伸一の4名の「電子投稿・校閲システムの構築」に対して送られたものです.(2010年3月)

  • 精密工学会2010年度春季大会で,研究室出身の劉淑杰が精密工学会研究奨励賞として表彰されました.この賞は,若手研究者で対象論文の筆頭者に贈られます.対象論文は,Shujie Liu, Kentaro Watanabe, Xin Chen, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu: Profile measurement of a wide-area resist surface using a multi-ball cantilever system, Precision Engineering 33, 2009, 50-55です.(2010年3月)

    賞状,表彰楯と劉(左),高増

    賞状                 表彰楯

  • ASPEN2009 (北九州,2009年11月11日〜13日)に高増,高橋,松本,韋,工藤,松田,井阪,Winarnoが参加しました.松田の発表(K. Matsuda, S. Takahashi, K. Takamasu, In-process visualization of laser-assisted three-dimensional microfabrication using photocatalyst nanoparticles)は,Best Paper Awarとして表彰されました.(2009年11月)

    賞状                  賞状,賞品と高増,松田(右)
     賞品の有田焼のカップ

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  • IMEKO Worl Congress2009(リスボン,ポルトガル,2009年9月6日〜9月11日)に高橋,工藤が参加しました.工藤の発表(R. Kudo, S. Usuki, S. Takahashi, K. Takamasu, Fundamental Verification fo 2-Dimensional Super-Resolution Optical Inspection for Semiconductor Defects by Using Standing Wave Illumination Shift)は,Gyögy Striker Junior Paper Award として表彰されました.György Striker Junior Paper Award は,3年に一度開催されるIMEKO World Congressで35歳以下の若手研究者1名にだけ送られる名誉ある賞です.
    IMEKOのホームページ
    にも受賞のことが掲載されています.(2009年9月)
     
    賞状                  賞状を受け取る工藤(右)

  • 論文・業績に2008年度分を追加しました.(2009年8月)
  • 2008年度高増 ・高橋研究室,トレーサビリティ計測工学寄付講座研究成果(Takamasu-Takahashi Lab, Traceability Measurement Engineering Lab 2008 Annual Report)が完成しました.必要な方はご連絡ください.(takamasu[at]pe.t.u-tokyo.ac.jp)(2009年8月)
  • ISMTII2009(サンクトペテルブルク,ロシア,2009年6月29日〜7月3日)に高増,高橋が参加しました.高増は招待講演とランドテーブルでの発表を行いました.(2009年7月)
  • euspen2009(サンセバスチャン,スペイン,2009年6月2日〜6月5日)に高橋が参加しました.高橋はオーラル講演を行いました.(2009年6月)
  • 新年度になり,メンバーを更新しました.(2009年4月)
  • 2008年度の修士論文および卒業論文のリストを追加しました.(2009年3月)
  • 台湾(高増,高橋)およびバンコク(高増)へ出張しました.現地の研究室卒業生に会いました.(2009年3月)
  • 精密工学会論文賞を受賞しました.精密工学会誌74巻5月号に掲載された「変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究(第1報)−解像特性の理論的検討−,臼杵深(現 静岡大学),西岡宏晃(現 東京電力),高橋哲,高増潔[PDF File]」が表彰の対象です.一昨年度,昨年度に続けての3年連続の受賞となりました.(2009年3月)

     左から,高橋,西岡,臼杵,高増

  • 2008年度の卒業に当たって,長野敏宗(4年生)がシステム創成学科学科長賞(PID/PIM卒業論文の発表の成績が優秀のため)を受賞しました.(2009年3月)
     
    長野敏宗


高増・高橋研究室の担当分野:知的ナノ計測
高増・高橋研究室は,東京大学工学系研究科精密機械工学専攻の研究室で,精密計測の分野を担当しています.これからの精密計測に対して種々の方向を考えた新しい展開を目指しています.

研究室の紹介(精密工学会誌2004年11月)

研究の基本となるキーワードは,以下の7つです.
  • 精密測定:精密計測の基礎的な解析
  • ナノメートル計測:ナノテクノロジーにおける計測技術,ナノメートル三次元測定機
  • 三次元座標測定機:三次元測定機,CMM (Coordinate Measuring Machine) における計測技術
  • 測定の不確かさの評価:Uncertainty of Measurement
  • 三次元機構の校正:パラレルメカニズム,パラレル三次元測定機
  • 先端計測技術:光計測,生体計測,人体計測
  • 近接場利用超精密計測,加工


精密計測技術の新しい展開


研究の概要
研究としては,以下のようなことを行っています.
研究内容については,こちらを参照して下さい.
  • リングビームを用いた三次元変位測定
  • 差分測定を利用した形状復元アルゴリズムの研究
  • メカノオプトプローブを利用した広範囲薄膜形状の測定
  • 定在照明のシフトを利用した超解像半導体欠陥検査
  • 定在エバネッセント光による超解像顕微法の研究
  • 近接場光学を用いたナノインプリントのための膜厚測定
  • 平面モータの校正−真直度と直角度の計測
  • 歯車車輪式平面リニアモータシステムの開発
  • エバネッセント光を用いたナノ光造形法の研究
  • 光触媒による三次元金属微細構造創成に関する研究
  • 実環境における実時間RSA検出手法の研究
  • nano-CMM(ナノメートル分解能三次元座標測定機)の開発
  • 論文リスト



連絡先情報
  • 電子メール:takamasu[at]pe.t.u-tokyo.ac.jp ([at]を@に置き換えて下さい.)
  • 電話番号: 03-5841-6450  FAX番号: 03-5841-8554
  • 住所:
    〒113-8656 東京都文京区本郷7-3-1
    東京大学大学院工学系研究科 精密機械工学専攻 高増潔
  • 場所:本郷キャンパス工学部14号館9階931室
    本郷キャンパス 工学部14号館9階


2004年9月 安田講堂前